[發明專利]薄膜應力測試裝置和薄膜應力測試方法

在審

• 申請號: 201710154499.5
• 申請日: 2017-03-15
• 公開（公告）號: CN107144383A
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 張建華;洪正;殷錄橋
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: G01L5/00
• 分類號: G01L5/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 吳平

1.一種薄膜應力測試裝置，其特征在于，包括激光發射模組(100)、激光接收模組(200)和測試平臺(300)；

所述激光發射模組(100)包括設置于所述測試平臺(300)的激光器(110)、分束元件(130)；

所述激光接收模組(200)包括設置于所述測試平臺(300)圖像處理設備(230)；

所述測試平臺(300)上設置有待測樣品；

所述激光器(110)發射的激光經所述分束元件(130)后被分成二維激光陣列，所述二維激光陣列投射至所述待測樣品，經過所述待測樣品反射被所述圖像處理設備(230)接收。

2.如權利要求1所述的薄膜應力測試裝置，其特征在于，所述激光發射模組(100)包括設置于所述測試平臺(300)的第一反光鏡(120)；

所述激光接收模組(200)包括設置于所述測試平臺(300)的第二反光鏡(210)；

從所述分束元件(130)射出的二維激光陣列經過所述第一反光鏡(120)反射后投射至所述待測樣品，經過所述待測樣品的反射后再經過所述第二反光鏡(210)反射至所述圖像處理設備(230)，所述圖像處理設備(230)接收激光信號后進行圖像處理。

3.如權利要求2所述的薄膜應力測試裝置，其特征在于，所述測試平臺(300)包括樣品臺(310)，所述樣品臺(310)用以承載待測樣品并帶動待測樣品在水平方向運動。

4.如權利要求2所述的薄膜應力測試裝置，其特征在于，所述激光接收模組(200)還包括成像元件(220)，所述二維激光陣列經過所述第二反光鏡(210)反射至所述成像元件(220)并在所述成像元件(220)表面顯示激光斑點，所述圖像處理設備(230)拍攝所述激光斑點后進行圖像處理。

5.如權利要求3所述的薄膜應力測試裝置，其特征在于，所述測試平臺(300)包括用以使所述樣品臺(310)在第一移動方向移動的第一電機(320)和用以使所述樣品臺(310)在第二移動方向移動的第二電機(330)，所述第一移動方向和所述第二移動方向相互垂直且處于同一平面。

6.如權利要求5所述的薄膜應力測試裝置，其特征在于，所述激光接收模組(200)還包括設置于所述樣品臺(310)一側的位置調節模塊(500)，所述圖像處理設備(230)可拆卸設置于所述位置調節模塊(500)，所述位置調節模塊(500)用以調節所述圖像處理設備(230)在所述第二移動方向移動。

7.如權利要求6所述的薄膜應力測試裝置，其特征在于，所述位置調節模塊(500)包括滑動桿(510)、基座(520)、支撐板(530)，所述基座(520)固定于所述測試臺(300)，所述滑動桿(510)沿著所述第二移動方向設置于所述基座(520)，所述支撐板(530)套設于所述滑動桿(510)，所述圖像處理設備(230)可拆卸安裝于所述支撐板(530)，所述滑動桿(510)用以驅動所述支撐板(530)在所述第二移動方向運動。

8.一種薄膜應力測試方法，采用如權利要求1-7中任一項所述的薄膜應力測試裝置，包括：

S100，將襯底樣品固定于所述樣品臺(310)，移動所述樣品臺(310)以采集所述襯底樣品的多個區域的第一圖像信息；

S200，在所述襯底樣品表面形成薄膜以獲得封裝襯底樣品，多次移動所述樣品臺(310)以再次采集所述多個區域的第二圖像信息；

S300，對所述第一圖像信息和所述第二圖像信息進行處理，以獲得所述薄膜的應力。

9.如權利要求8所述的薄膜應力測試方法，其特征在于，進一步包括預先對所述薄膜應力測試裝置進行調試的步驟，包括：

S010，調試光路，使得所述圖像處理設備(230)采集到的圖像處于視場的中心位置；

S020，等待所述激光器(110)的激光功率處于穩定狀態。

10.如權利要求8所述的薄膜應力測試方法，其特征在于，所述S100包括：

S110，沿著第一移動方向多次移動所述樣品臺(310)以多次采集襯底樣品進入所述圖像處理設備(230)視場的區域的圖像信息；

S120，保持襯底相對所述樣品臺(310)的固定位置不變，使所述樣品臺(310)在第二移動方向多次移動并多次采集襯底樣品進入所述圖像處理設備(230)視場的區域的圖像信息。