[發明專利]基片表面的檢測裝置和檢測方法、傳片腔室

有效

• 申請號: 201710153739.X
• 申請日: 2017-03-15
• 公開（公告）號: CN108630561B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 陳路路;趙海洋;孫偉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/677
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 王思超

1.一種傳片腔室，包括機械手和至少一個用于承載片盒的托盤，其特征在于，還包括基片表面的檢測裝置；所述機械手用于在所述片盒和所述檢測裝置之間傳送所述基片；所述檢測裝置包括：

光源，所述光源用于向所述基片的被檢測表面發射光束；

光探測器，所述光探測器用于接收并匯聚來自所述被檢測表面的反射光束；

光電轉換器，所述光電轉換器與所述光探測器進行通信，用于將匯聚后的所述反射光束轉換為光電流信號；

控制器，所述控制器與所述光電轉換器進行通信，接收所述光電流信號，并判斷所述光電流信號的電流值是否與指定表面對應的電流值一致；若一致，則確定所述被檢測表面是指定表面；若不一致，則確定所述被檢測表面不是指定表面，所述被檢測表面為所述基片一側的拋光面或者另一側的粗糙面。

2.根據權利要求1所述的傳片腔室，其特征在于，所述光源包括點光源或線光源。

3.根據權利要求1所述的傳片腔室，其特征在于，所述光探測器包括光透鏡或光反射鏡。

4.根據權利要求1所述的傳片腔室，其特征在于，還包括報警器，所述報警器與所述控制器進行通信；

當確定所述被檢測表面不是指定表面時，所述控制器發送指令至所述報警器使其發出報警信號。

5.根據權利要求1所述的傳片腔室，其特征在于，還包括承載平臺，所述承載平臺用于承載被檢測基片；

所述機械手用于將片盒中的被檢測基片傳送至所述承載平臺。

6.根據權利要求5所述的傳片腔室，其特征在于，所述檢測裝置設置于所述傳片腔室的內頂壁上，并與所述承載平臺相對。

7.一種基片表面的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，向基片的被檢測表面發射光束；

S2，接收來自所述被檢測表面的反射光束；

S3，將所述反射光束轉換為光電流信號；

S4，判斷所述光電流信號的電流值是否與指定表面對應的電流值一致；若一致，則確定所述被檢測表面為指定表面；若不一致，則確定所述被檢測表面不是指定表面，所述被檢測表面為所述基片一側的拋光面或者另一側的粗糙面。

8.根據權利要求7所述的檢測方法，其特征在于，還包括步驟S5：

當確定所述基片的被檢測表面不是指定表面時，發出報警信號。

9.根據權利要求7所述的檢測方法，其特征在于，在進行所述步驟S1之前，還包括以下步驟：

向基片的所述指定表面發射光束；

接收來自所述指定表面的反射光束；

將所述反射光束轉換為光電流信號，并檢測和存儲所述光電流信號的電流值，作為所述指定表面對應的電流值。

10.根據權利要求7-9任意一項所述的檢測方法，其特征在于，所述指定表面為基片的拋光面。