[發明專利]用于確定氣體濃度的設備

在審

• 申請號: 201710150431.X
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN107192760A
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 鄭志忠;利奧·陳;克里斯托弗·J·莫拉特;阿林達姆·辛哈洛伊;雷蒙德·C·洛格
• 申請（專利權）人: 威科儀器有限公司
• 主分類號: G01N29/024
• 分類號: G01N29/024
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司11287
• 代理人: 王龍

1.一種用于確定氣體濃度的設備，其包括：

聲學單元，其界定腔室；

發射器，其包括：

第一換能器，其經配置以發射聲學信號；

第一阻尼器，其布置在所述聲學單元與所述第一換能器之間；以及

第一變換器，其布置在所述腔室與所述第一換能器之間，所述第一變換器利用金屬材料耦合到所述第一換能器；以及

接收器，其包括：

第二換能器，其經配置以接收所述聲學信號；

第二阻尼器，其布置在所述聲學單元與所述第二換能器之間；以及

第二變換器，其布置在所述腔室與所述第二換能器之間，所述第二變換器利用所述金屬材料耦合到所述第二換能器。

2.根據權利要求1所述的設備，其進一步包括：

第一聚合層，其布置在所述第一變換器與所述腔室之間的界面處；

第二聚合層，其布置在所述第二變換器與所述腔室之間的界面處；

第一夾層，其布置在所述第一變換器與所述第一換能器之間的界面處；以及

第二夾層，其布置在所述第二變換器與所述第二換能器之間的所述界面處。

3.根據權利要求1所述的設備，其中所述金屬材料為焊料。

4.根據權利要求1所述的設備，其中所述第一換能器包含壓電元件，且所述第一換能器包含通過所述金屬材料彼此耦合的壓電元件的堆疊。

5.根據權利要求4所述的設備，其中所述第二換能器包括壓電元件的第二堆疊，且其中壓電元件的所述第二堆疊通過所述金屬材料彼此耦合。

6.根據權利要求1所述的設備，其中所述前驅氣體入口經配置以在化學氣相沉積或原子層沉積系統的操作期間穿過所述設備投送前驅氣體。

7.根據權利要求1所述的設備，其中所述設備經配置以承受至少150℃的操作溫度。

8.根據權利要求1所述的設備，其中所述設備經配置以在小于100托的壓力下，或更優選地小于20托的壓力下操作。

9.一種用于確定氣體濃度的設備，其包括：

聲學單元，其界定腔室，所述腔室與鄰近流路徑成流體接觸；

發射器，其包括：

第一換能器；

第一阻尼器，其布置在所述聲學單元與所述第一換能器之間；

第一變換器，其布置在所述腔室與所述第一換能器之間；以及

第一聚合材料層，其布置在所述第一變換器與所述腔室之間的界面處；以及接收器，其包括：

第二換能器；

第二阻尼器，其布置在所述聲學單元與所述第二換能器之間；

第二變換器，其布置在所述腔室與所述第二換能器之間；以及

第二所述聚合材料層，其布置在所述第二變換器與所述腔室之間的界面處。

10.一種用于確定氣體濃度的設備，其包括：

聲學單元，其由第一材料制成且界定腔室，所述聲學單元包含：

第一平臺，其經配置以接納第一O形環；

第二平臺，其經配置以接納第二O形環；

第一墊片，其包括第二材料且鄰近于所述第一平臺而布置；

第二墊片，其包括第二材料且鄰近于所述第二平臺而布置；

第一側，其具有第一外殼內的第一換能器，其中所述第一外殼在所述第一平臺處耦合到所述聲學單元；以及

第二側，其具有第二外殼內的第二換能器，其中所述第二外殼在所述第二平臺處耦合到所述聲學單元。