[發明專利]電子混合氣全封閉式配制裝置

在審

• 申請號: 201710149810.7
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN106823982A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 夏紅真;高天東;賈文超;喬曉梅
• 申請（專利權）人: 大連大特氣體有限公司
• 主分類號: B01F15/04
• 分類號: B01F15/04;B01F3/02;B01F13/06;B01F15/00
• 代理公司: 大連非凡專利事務所21220
• 代理人: 王廉

技術領域

本發明涉及一種配氣用輔助裝置，特別是一種電子混合氣全封閉式配制裝置。

背景技術

電子半導體工業是在電子科學技術發展和應用的基礎上發展起來的。20世紀以來，電子工業發展很快，由于生產技術的提高和加工工藝的改進，集成電路差不多每三年就更新一代；大規模集成電路和計算機的大量生產和使用，光纖通信、數字化通信、衛星通信技術的興起，使電子工業成為推動科技發展的高新技術產業。

隨著電子工業，尤其是大規模集成電路的發展，混合氣的用量越來越大，人們把半導體工業用的混合氣稱為電子混合氣。

電子混合氣種類很多，組分氣體主要有：硅烷、砷烷、磷烷、硼烷、鍺烷、硒化氫、硫化氫四氟化碳（底氣為氧）；底氣有：氮、氫、氬、氦等。

由于半導體工業經常使用的氣體：SiH4、PH3、B2H6、AsH3、BCl3、SiH2Cl2、SiHCl3、CF4、NH3、SbH3、SeH3、HCl等都是易燃易爆，腐蝕性強氣體，比重都比空氣大，且隨溫度上升而分解；對人體血液，神經，內臟都有中毒作用，這就給混合氣的配制造成了極大的困難。

電子工業的高速發展對電子混合氣的需求要求越來越大，現有電子混合氣體的配制大多使用傳統普通標準氣體配制裝置進行配制，安全性、可靠性、自動化程度都有待提高。

發明內容

本發明是為了解決現有技術所存在的上述不足，提出一種結構簡單，設計巧妙，能夠在封閉的空間內配制出電子混合氣的配氣設備。

本發明的技術解決方案是：一種電子混合氣全封閉式配制裝置，包括箱體1，其特征在于：所述的箱體1內設置有與箱體1的內腔等高的第一隔板2，第一隔板2將箱體1的內腔分為原料氣鋼瓶區3和前半區兩部分，在箱體1的背側設置有與原料氣鋼瓶區3相配的兩個對稱的門體4，在前半區中設置有與箱體1的內腔等高的第二隔板5，第二隔板5將前半區分為混合氣鋼瓶區6和右半區，在混合氣鋼瓶區6中還設置有電子稱，在箱體1上還設置有與混合氣鋼瓶區6相配的門體4，在右半區中設置有與箱體1的內腔等高的第三隔板7，第三隔板7將右半區分為風道區8和綜合區9兩部分，其中綜合區9的中部設置有控制箱框架10，并且控制箱框架10與第三隔板7之間不接觸，控制箱框架10下方為真空泵腔11，在控制箱框架10上方的第三隔板7上設置有連接架12，在箱體1上還設置有與綜合區9相配的門體4，在箱體1正面的兩個門體4之間設置有控制面板13，控制面板13上設置有觸屏電腦14，而觸屏電腦14下方的控制面板13上設置有操作平臺15，所有的門體4的下部都設置有可調式通風機構16，而風道區8的上部和下部均設置有多個可調式通風機構16，這些可調式通風機構16將風道區8分別與原料氣鋼瓶區3、混合氣鋼瓶區6和綜合區9相互連通，在箱體1的頂端還設置有與風道區8相通的風閥24。

所述的門體4的上部鉸接有小門體17，在小門體17上設置有防爆玻璃18。

所述的可調式通風機構16包括固定通風板19，在固定通風板19上開設有多個相互平行的通風口20，與固定通風板19滑動連接有滑動通風板21，在滑動通風板21上也開設有多個相互平行的通風口20，在固定通風板19上設置有長孔22，長孔22內滑動連接有調節螺栓23，所述調節螺栓23的一端與滑動通風板21固定連接，在可調式通風機構16處還設置有阻燃棉和鋼絲網。

本發明同現有技術相比，具有如下優點：

本種電子混合氣全封閉式電子氣配制裝置，其結構簡單，設計巧妙，它針對傳統的配制電子混合氣過程中所存在的：安全性低、可靠性差、自動化程度低等問題，設計了一種專用的全封閉式電子氣配制裝置。本裝置采用封閉式設計，箱體內設計壓力為負壓狀態，當原料氣或成品氣有泄漏時，通過排風系統排到車間外部，避免了對人員造成傷害提高了設備的安全性。裝置內部采用多區域分區，將原料氣、成品氣、配制面板分離開來，避免了各區域之間相互影響，使電子稱讀數更精確。裝置各區域和風道之間設有通風口，通風口內部有多層阻燃棉和鋼絲網，且通風口的開度可調節，保證相應區域壓力穩定。本裝置采用雙層門設計，內層大門固定在箱體上，大門的上部帶有小門，小門上裝有防爆玻璃，方便查看裝置內部狀況，同時需要操作閥門時只需要打開小門即可操作閥門。因此可以說它具備了多種優點，特別適合于在本領域中推廣應用，其市場前景十分廣闊。

附圖說明

圖1為本發明實施例的主視圖。

圖2為本發明實施例中箱體內部的各區域示意圖。

圖3為本發明實施例正面的立體示意圖。

圖4為本發明實施例背面的立體示意圖。