[發明專利]一種顯示面板及其制造方法

在審

• 申請號: 201710148705.1
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN106990592A
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 簡重光
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G02F1/1333;H01L27/12
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙)44240
• 代理人: 邢濤

1.一種顯示面板，其特征在于，所述顯示面板包括：

基板；

主動開關，設置在基板上；

所述主動開關與所述基板之間設有遮光層，所述主動開關包括半導體層，所述遮光層完全覆蓋所述半導體層。

2.如權利要求1所述的一種顯示面板，其特征在于，所述遮光層包括設置在所述半導體層下方的第一金屬層和半穿透層；所述第一金屬層設在所述半穿透層上，所述半穿透層完全覆蓋所述半導體層。

3.如權利要求2所述的一種顯示面板，其特征在于，所述半穿透層在所述基板基板上間隔設置，所述第一金屬層橫跨相鄰兩個所述半穿透層的間隔區域，所述第一金屬層的兩端分別設在相鄰的兩個所述半穿透層上，所述半穿透層和所述第一金屬層完全覆蓋所述半導體層。

4.如權利要求2所述的一種顯示面板，其特征在于，所述第一金屬層和所述半穿透層采用同一道光罩制作。

5.如權利要求2所述的一種顯示面板，其特征在于，所述主動開關包括第二金屬層，所述第二金屬層包括源極金屬層和漏極金屬層，所述源極金屬層和所述漏極金屬層設在所述半導體層兩端上，所述源極金屬層和所述漏極金屬層之間設有溝道，所述溝道底部為所述半導體層。

6.如權利要求5所述的一種顯示面板，其特征在于，所述半導體層與所述源極金屬層和所述漏極金屬層之間設有氮離子層。

7.如權利要求2所述的一種顯示面板，其特征在于，所述第一金屬層的下部包括第一高附著金屬層，所述第一金屬層的上部包括第二高附著金屬層，所述第一金屬層中間包括中間導電層。

8.如權利要求7所述的一種顯示面板，其特征在于，所述中間導電層底部寬度大于頂部，所述中間導電層的厚度大于第一高附著金屬層和第二高附著金屬層的厚度。

9.一種顯示面板的制造方法，其特征在于，所述顯示面板包括基板和設置在基板上的主動開關，所述主動開關包括半導體層；所述制造方法包括步驟：

在基板上設置半穿透層材料；

在基板穿透層材料上設置金屬層材料；

采用同一半色調光罩制程獲得完全覆蓋所述半導體層的遮光層。

10.如權利要求9所述的一種顯示面板的制造方法，其特征在于，所述遮光層包括設置在所述半導體層下方的第一金屬層和半穿透層；所述采用同一半色調光罩制程獲得完全覆蓋所述半導體層的遮光層的步驟包括：

在金屬層材料上設置光阻材料；

采用半色調光罩制程獲得半穿透層的圖案；

采用濕蝕刻制程蝕刻金屬材料層；

采用干蝕刻和光刻膠灰化制程獲得第一金屬層的圖案和所述半穿透層；

采用濕蝕刻制程獲得第一金屬層；

去除殘留的光阻材料。