[發明專利]藍寶石長晶爐置換坩堝裝置及方法

有效

• 申請號: 201710148520.0
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN107059126B
• 公開（公告）日: 2023-10-27
• 發明（設計）人: 徐永亮;于海群
• 申請（專利權）人: 內蒙古恒嘉晶體材料有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理有限公司 11363
• 代理人: 逯長明;許偉群

1.一種藍寶石長晶爐置換坩堝裝置，其特征在于，所述裝置包括：晶體生長室(100)和坩堝置換室(200)；

所述晶體生長室(100)設置于所述坩堝置換室(200)的頂部；

所述晶體生長室(100)的底部與所述坩堝置換室(200)連通，所述晶體生長室(100)與所述坩堝置換室(200)相連通的區域設置有開合部件(101)；

所述坩堝置換室(200)內部設置有冷卻平臺(201)、換料平臺(202)、上下料平臺(205)以及坩堝運送組件；

所述上下料平臺(205)、所述冷卻平臺(201)以及所述換料平臺(202)在所述坩堝置換室(200)內部沿同一方向依次設置，所述上下料平臺(205)位于所述晶體生長室(100)的底部，所述坩堝運送組件設置于所述上下料平臺(205)、所述冷卻平臺(201)以及所述換料平臺(202)的一側。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述坩堝運送組件包括：沿水平方向設置的滑軌(203)，以及與所述滑軌(203)滑動連接的機械手(204)，所述滑軌(203)的長度大于所述上下料平臺(205)與所述換料平臺(202)之間的距離。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述滑軌(203)包括主干軌道(2030)，以及分別與所述主軌道(2030)連接的第一分支軌道(2031)、第二分支軌道(2032)以及第三分支軌道(2033)；

所述主干軌道(2030)與所述上下料平臺(205)、所述冷卻平臺(201)以及所述換料平臺(202)的排布方向平行；

所述第一分支軌道(2031)朝向所述上下料平臺(205)的方向延伸，所述第二分支軌道(2032)朝向所述冷卻平臺(201)的方向延伸，所述第三所述分支軌道(2033)朝向所述換料平臺(202)的方向延伸。

4.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述主干軌道(2030)兩端設置有豎直滑軌(2034)，所述主干軌道(2030)兩端與所述豎直滑軌(2034)滑動連接，所述主干軌道(2030)底部設置有升降氣缸(2035)。

5.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括真空泵(206)，所述真空泵(206)與所述坩堝置換室(200)連接。

6.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述開合部件(101)是法蘭盤。

7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述冷卻平臺(201)、所述換料平臺(202)以及所述上下料平臺(205)為液壓式升降平臺。

8.一種藍寶石長晶爐置換坩堝方法，用于權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

晶體生長室中待冷卻坩堝落內的晶體退火結束后，開啟開合部件，使待冷卻坩堝落置在上下料平臺上；

下降上下料平臺至冷卻平臺的高度；

利用坩堝運送組件抓取待冷卻坩堝，將待冷卻坩堝移動至冷卻平臺上；

利用坩堝運送組件抓取預裝有晶體原料的待置換坩堝，待置換坩堝預置在換料平臺上，同時，下降冷卻平臺，使待冷卻坩堝內退火后的晶體冷卻；

利用坩堝運送組件將待置換坩堝移動至上下料平臺上；

上升上下料平臺，將待置換坩堝送入晶體生長室；

關閉開合部件，在晶體生長室內，對待置換坩堝內的晶體加熱。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，晶體生長室中待冷卻坩堝落內的晶體退火結束后、開啟開合部件之前，還包括：

對坩堝置換室抽真空，使坩堝置換室內的氣壓與晶體生長室中內的氣壓相同。