[發明專利]光譜共焦檢測裝置

在審

• 申請號: 201710147397.0
• 申請日: 2017-03-13
• 公開（公告）號: CN106706525A
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 王俊民;廖福秀;賀佳貴;鄒志英
• 申請（專利權）人: 王俊民
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N21/55;G01N21/01
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 宋南

1.一種光譜共焦檢測裝置，其特征在于，包括：

檢測平臺，用于安裝被測物體；

光譜共焦位移傳感器，用于檢測被測物體的位置或者形狀；

若干個直線電機位移平臺，所述直線電機位移平臺的動子上設置有所述檢測平臺或所述光譜共焦位移傳感器；

控制系統，用于控制所述光譜共焦位移傳感器和所述直線電機位移平臺；

機架，用于安裝所述檢測平臺、所述光譜共焦位移傳感器、所述直線電機位移平臺和所述控制系統。

2.根據權利要求1所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述機架包括底座，所述直線電機位移平臺的定子安裝在所述底座上，所述檢測平臺位于所述底座的上表面，所述底座上設置有懸臂，所述光譜共焦位移傳感器安裝在所述懸臂上。

3.根據權利要求2所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述懸臂上設置有能夠沿預設方向伸縮的伸縮裝置，所述光譜共焦位移傳感器安裝在所述伸縮裝置上。

4.根據權利要求3所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述伸縮裝置的伸縮方向垂直于所述檢測平臺的工作平面。

5.根據權利要求2-4中任一項所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述懸臂設置在所述直線電機位移平臺的動子上。

6.根據權利要求5所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述直線電機位移平臺包括第一移動裝置、第二移動裝置和第三移動裝置，所述第一移動裝置和所述第二移動裝置的定子分別固定在所述底座上表面的兩側，所述第一移動裝置的動子和所述第二移動裝置的動子的移動方向平行，所述第三移動裝置的定子的兩端分別固定連接所述第一移動裝置和所述第二移動裝置的動子，所述懸臂固定在所述第三移動裝置的動子上，且所述第三移動裝置的動子的移動方向垂直于所述第一移動裝置的動子的移動方向和所述第二移動裝置的動子的移動方向。

7.根據權利要求6所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述第一移動裝置、所述第二移動裝置和所述第三移動裝置均為直線電機，且所述第一移動裝置、所述第二移動裝置和所述第三移動裝置的動子的移動方向均平行于所述檢測平臺的工作平面。

8.根據權利要求2-4中任一項所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述檢測平臺設置在所述直線電機位移平臺的動子上。

9.根據權利要求8所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述直線電機位移平臺和所述檢測平臺為疊加在一起的三層平臺，所述三層平臺的底層作為所述直線電機位移平臺的定子安裝在所述底座上，所述三層平臺的中間層與所述底層滑動連接，所述檢測平臺作為頂層與所述中間層滑動連接，所述中間層和所述檢測平臺均由直線電機驅動。

10.根據權利要求7或9所述的光譜共焦檢測裝置，其特征在于，所述直線電機位移平臺中設置有光柵尺。