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[發明專利]長共軛吩噻嗪衍生物作為增感劑在光刻膠中的應用及光刻膠和濾光片在審

專利信息
申請號: 201710147219.8 申請日: 2017-03-13
公開(公告)號: CN107085354A 公開(公告)日: 2017-08-22
發明(設計)人: 王孟強;倫建超;王雪嵐 申請(專利權)人: 阜陽欣奕華材料科技有限公司
主分類號: G03F7/004 分類號: G03F7/004;G03F7/031;G02B5/22;C07D279/20;C07D279/22
代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274 代理人: 申健
地址: 236000 安徽省阜陽市*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: 共軛 吩噻嗪 衍生物 作為 增感劑 光刻 中的 應用 濾光
【權利要求書】:

1.長共軛吩噻嗪衍生物作為增感劑在光刻膠中的應用,其特征在于,所述長共軛吩噻嗪衍生物具有如式Ⅰ所示的結構

其中,R1、R2各自獨立的分別為氫、甲基、C3-C10的直鏈或支鏈烷基、C3-C7的直鏈或支鏈亞烷基、C1-C4烷基苯基、C3-C9環烷基烷基。

2.根據權利要求1所述的應用,其特征在于,R1、R2各自獨立的分別為C3-C7的直鏈或支鏈烷基、C1烷基苯基、C3-C6環烷基烷基。

3.根據權利要求2所述的應用,其特征在于,R1、R2各自獨立的分別為C4-C6的直鏈烷基。

4.一種光刻膠,包括顏料分散液、堿可溶性樹脂、多官能基單體、光引發劑、增感劑、溶劑,其特征在于,

所述增感劑為長共軛吩噻嗪衍生物增感劑,所述增感劑具有如式Ⅰ所示的結構

其中,R1、R2各自獨立的分別為氫、甲基、C3-C10的直鏈或支鏈烷基、C3-C7的直鏈或支鏈亞烷基、C1-C4烷基苯基、C3-C9環烷基烷基。

5.根據權利要求4所述的光刻膠,其特征在于,所述光刻膠包括

顏料分散液:20-40份,

堿可溶性樹脂:5-15份,

多官能基單體:2-8份,

光引發劑:0.1-5份,

增感劑:0.05-2份,

溶劑:40-60份。

6.根據權利要求5所述的光刻膠,其特征在于,所述堿可溶性樹脂選自甲基丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸丁酯的共聚物。

7.根據權利要求5所述的光刻膠,其特征在于,所述多官能基單體選自二丙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、雙季戊四醇五/六丙烯酸酯、五丙烯酸酯、異戊四醇四丙烯酸酯中的兩種或多種。

8.根據權利要求5所述的光刻膠,其特征在于,所述光引發劑選自安息香類光引發劑、二苯甲酮類光引發劑、蒽醌類光引發劑、酰基磷氧化物。

9.根據權利要求5所述的光刻膠,其特征在于,所述溶劑選自丙二酮甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亞胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、環戊酮、環己酮中的一種或多種。

10.一種濾光片,其特征在于,包括根據權利要求4~9所述的光刻膠。

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