[發明專利]一種拉絲模具內孔制備金剛石涂層的裝置

在審

• 申請號: 201710147164.0
• 申請日: 2017-03-13
• 公開（公告）號: CN108570654A
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 唐永炳;張松全;王陶
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/455
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種拉絲模內孔制備金剛石涂層的裝置，所述裝置包括真空腔室，以及設置在真空腔室內的樣品臺、熱絲和多個具有?？椎睦z模具，其特征在于，所述樣品臺包括相對設置的第一端和第二端，所述拉絲模具間隔卡設在所述樣品臺的第一端上，所述樣品臺的第二端設有通孔，所述拉絲模具的?？着c所述通孔相連通；所述樣品臺的上方水平設置有熱絲，所述熱絲的兩端分別連接電極柱；

所述裝置還設有導流器，以及插入所述真空腔室內的進氣管和排氣管，所述排氣管的出口與一泵相連；所述導流器包括腔體，所述導流器具有相對設置的第一端和第二端，所述第二端大于所述第一端的徑向尺寸；所述第一端連接有與所述腔體連通的進氣管，所述第二端上設有多個與所述腔體連通的分流管；所述分流管的出口位于所述?？椎恼戏?。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述分流管的出口與所述拉絲模具的?？坠草S線。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括勻氣罩，所述勻氣罩位于所述樣品臺的通孔的下方；所述勻氣罩包括罩體，所述勻氣罩具有相對設置的第一端和第二端，所述勻氣罩的第一端連接有與所述罩體相連通的所述排氣管。

4.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述勻氣罩的第一端的徑向尺寸小于或等于所述第二端的徑向尺寸。

5.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述勻氣罩的第二端上設有多個勻氣支管，所述勻氣支管部分伸入所述樣品臺的通孔內。

6.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述樣品臺的第一端上設有與拉絲模具的外形匹配的凹槽，所述凹槽與所述通孔同軸。

7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述熱絲的一端固定在一電極柱上，所述熱絲的另一端繞接到另一電極柱后與一砝碼連接，所述砝碼通過一支撐板進行支撐，所述支撐板通過鉬螺釘固定在所述另一電極柱上。

8.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述樣品臺由相對設置的兩根支撐柱進行支撐，所述支撐柱還用于對樣品臺的高度進行調節。

9.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述熱絲距所述分流管的高度為45-65mm。

10.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述熱絲距所述拉絲模具的高度為8-15mm。