[發明專利]一種多孔氮化鎵單晶材料、其制備方法及應用在審
| 申請號： | 201710146131.4 | 申請日： | 2017-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN108570709A | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發明（設計）人： | 陳晨龍;謝奎 | 申請（專利權）人： | 中國科學院福建物質結構研究所 |
| 主分類號： | C30B29/40 | 分類號： | C30B29/40;C30B29/60;C30B1/10 |
| 代理公司： | 北京元周律知識產權代理有限公司 11540 | 代理人： | 張瑩 |
| 地址： | 350002 福建*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多孔氮化鎵 單晶材料 襯底 氮化鎵基器件 氮化鎵單晶 自支撐結構 光電器件 晶體材料 塊狀單晶 應力釋放 無孔 制備 消解 申請 應用 | ||
1.一種多孔氮化鎵單晶材料，其特征在于，所述多孔氮化鎵單晶材料中含有孔徑為10nm～2000nm的孔。
2.根據權利要求1所述的多孔氮化鎵單晶材料，其特征在于，所述多孔氮化鎵單晶材料是多孔氮化鎵單晶薄膜和/或多孔氮化鎵單晶晶體。
3.根據權利要求2所述的多孔氮化鎵單晶材料，其特征在于，所述多孔氮化鎵單晶薄膜的表面為多孔氮化鎵單晶的(0001)C面、M面、面中的至少一面。
4.根據權利要求2所述的多孔氮化鎵單晶材料，其特征在于，所述多孔氮化鎵單晶晶體的尺寸為0.1cm～30cm；優選地，所述多孔氮化鎵單晶晶體的尺寸為1cm～5cm。
5.制備權利要求1至4任一項所述多孔氮化鎵單晶材料的方法，其特征在于，將鎵酸鋰單晶材料與含有氨氣的原料氣接觸反應，得到所述多孔氮化鎵單晶材料。
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述鎵酸鋰單晶材料與含有氨氣的原料氣接觸的是鎵酸鋰單晶的(001)面、(010)面、(100)面中的至少一面。
7.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述反應溫度為973K～1773K，壓力為10托～700托。
8.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述反應時間為10min～100h。
9.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述含有氨氣的原料氣中，
氨氣的流量記為a，0.05SLM≤a≤10SLM；
氮氣的流量記為b，0SLM≤b≤10SLM；
氬氣的流量記為c，0SLM≤c≤10SLM；
氫氣的流量記為d，0SLM≤d≤10SLM。
10.權利要求1至4任一項所述多孔氮化鎵單晶材料中的至少一種和/或根據權利要求5至9任一項所述方法制備得到的多孔氮化鎵單晶材料中的至少一種在光電材料中的應用。
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