[發明專利]被加工物的內部檢測裝置和內部檢測方法在審
| 申請號： | 201710145926.3 | 申請日： | 2017-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN107199409A | 公開（公告）日： | 2017-09-26 |
| 發明（設計）人： | 中村勝 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/40 | 分類號： | B23K26/40;B23K26/00;H01L21/301;H01L21/78;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司11127 | 代理人： | 李輝,于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加工 內部 檢測 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種被加工物的內部檢測裝置，其對因向被加工物照射激光光線而形成在內部的加工痕進行檢測，其中，該被加工物的內部檢測裝置至少包含：
保持構件，其對被加工物進行保持；
照明構件，其向該被加工物照射具備對于該被加工物具有透過性的波長的光；
拍攝構件，其對該被加工物進行拍攝；以及
反射鏡，其與該被加工物的側面對置地配設，將來自該側面的光反射而引導到該拍攝構件。
2.一種被加工物的內部檢測方法，對因向被加工物照射激光光線而形成在內部的加工痕進行檢測，其中，該被加工物的內部檢測方法包含如下的工序：
保持工序，將被加工物保持在保持構件上；
照明工序，向該被加工物照射具備對于該被加工物具有透過性的波長的光；
反射鏡定位工序，將反射鏡定位在與該保持構件所保持的該被加工物的側面對置的位置，將來自該側面的光反射而引導到拍攝構件；以及
加工痕檢測工序，利用該拍攝構件對該被加工物的側面進行拍攝，對形成在該被加工物的內部的該加工痕進行檢測。
3.根據權利要求2所述的被加工物的內部檢測方法，其中，
該被加工物的內部檢測方法還包含如下的平坦化工序：當在該被加工物的內部形成該加工痕之前或形成了該加工痕之后，在該側面形成用于檢測該加工痕的平坦部。
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