[發明專利]基板檢查裝置及基板檢查方法

有效

• 申請號: 201710144128.9
• 申請日: 2017-03-10
• 公開（公告）號: CN107192913B
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 笹岑敬一郎;齋藤智一;土田憲吾
• 申請（專利權）人: 雅馬哈精密科技株式會社
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02;G01R31/12;G01R27/16
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邸萬奎

本發明的基板檢查方法，對電路基板上形成的導體圖案通過檢查探針流過電流來測電特性值，基于該電特性值的測量值判定電路基板的合格與否，包括以下步驟：在測量值為容許范圍內的情況下判定為合格，在沒有被判定為合格的情況下反復進行測量，在測量次數達到了上限的情況下判定為不合格，同時在第1次的測量值偏離容許范圍的情況下，改變對檢查探針的電流的方向進行第2次的測量，在該第2次的測量值偏離容許范圍的情況下，以測量出第1次的測量值和第2次的測量值之中的偏離容許范圍的差較小一方的測量值時的電流的方向進行第3次以后的測量。

技術領域

本發明涉及用于檢查電路基板的導體圖案的電氣導通狀態或絕緣狀態的基板檢查裝置及基板檢查方法。

本申請要求2016年3月14日在日本申請的特愿2016-50233號的優先權，其內容引用于此。

背景技術

在檢查印刷基板等的電路基板中的導體圖案的斷線或短路等的電氣導通狀態或絕緣狀態的情況下，使檢查探針抵接導體圖案的兩端的露出部分，在檢查探針間流過電流，或對兩個導體圖案間施加電壓，測量檢查探針間的電阻值等的電特性值，從該測量值檢查導通狀態或絕緣狀態。

這種情況下，有檢查探針和導體圖案之間的接觸狀態對測量值產生影響的顧慮。特別地，在因微細化而質量(電阻值的偏差小)的要求不斷提高的近年中，接觸狀態對測量值造成的影響成為較大的問題。

為了解決這樣的接觸狀態的影響，在專利文獻1中，公開了在測量導體圖案等中的電阻值時、在發生起因于檢查探針的接觸不良等的測量異常連續L(L為2以上的自然數)次時、在測量次數達到了M(M為L以上的自然數)次時、以及在連續N(N為2以上、低于M的自然數)次滿足了未發生測量異常而測量出的參數的測量值收斂在容許范圍內的條件時的哪一個較早時為止，反復進行參數的測量。

根據該方法，記載了能夠不檢測非連接狀態等的測量異常，并且在測量值的變動較少時，在測量次數達到M次以前使測量處理結束，能夠提高測量效率。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2008-151554號公報

發明內容

發明要解決的問題

可是，在專利文獻1記載的方法中，記載了將規定的測量次數設定為M次，在測量異常未檢出，而測量值的變動少時，能夠在達到該M次以前使測量處理結束，而即使在該情況下，若測量值收斂在容許范圍內的條件不滿足連續N次，則不能使測量處理結束。

本發明鑒于這樣的情況而完成，目的在于降低電路基板的導體圖案和檢查探針之間的接觸狀態的影響，并且快速地檢查。

解決問題的方案

本發明的基板檢查方法，在對電路基板上形成的導體圖案，基于通過檢查探針流過的電流測量電特性值，并基于該電特性值的測量值判定所述電路基板的合格與否的基板檢查方法中，包括以下步驟：在第1次的測量值偏離容許范圍的情況下，改變對所述檢查探針的電流的方向進行第2次的測量，在該第2次的測量值偏離所述容許范圍的情況下，以測量出所述第1次的測量值和所述第2次的測量值之中的偏離容許范圍的差較小一方的測量值時的電流的方向進行第3次以后的測量。