[發明專利]手自一體式混合氣配置系統

有效

• 申請號: 201710141378.7
• 申請日: 2017-03-10
• 公開（公告）號: CN106881029B
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 夏紅真;華承賀;邵艷龍;王云龍;喬曉梅
• 申請（專利權）人: 大連大特氣體有限公司
• 主分類號: B01F23/10
• 分類號: B01F23/10;B01F35/212;B01F35/22;B01F35/221;F17D1/04;F17D3/01
• 代理公司: 北京格允知識產權代理有限公司 11609
• 代理人: 張沫

1.一種手自一體式混合氣配制方法，其特征在于：采用手自一體式混合氣配制系統實現，所述系統包括組分氣路（1），在組分氣路（1）的入氣端連接有組分氣瓶（2），組分氣路（1）的出氣端同時與第一輸送氣路（3）和第二輸送氣路（4）相連，在組分氣瓶（2）和組分氣路（1）的出氣端之間依次設置有過濾器（5）、針型閥（6）和組分氣氣動隔膜閥（7），在第一輸送氣路（3）上設置有第一氣動隔膜閥（8）、減壓閥（9）、質量流量計（10）和第二氣動隔膜閥（11），在第二輸送氣路（4）上設置有球閥（12）和第三氣動隔膜閥（13），第一輸送氣路（3）和第二輸送氣路（4）的出氣端同時與出氣管路（14）相連，出氣管路（14）上設置有出氣氣動隔膜閥（15），且出氣管路（14）的末端與混合氣氣瓶（16）相連通，所述的混合氣氣瓶（16）位于電子天平（17）上；

所述系統還包括底氣氣路（18），所述底氣氣路（18）上設置有過濾器（5）、針型閥（6）和底氣氣動隔膜閥（19），底氣氣路（18）與底氣檢測氣路（20）相連通，底氣檢測氣路（20）上設置有壓力傳感器（21）、壓力測試閥（22）和通過壓力測試閥（22）連接在底氣檢測氣路（20）上的壓力表（23）；

出氣管路（14）連接有出氣檢測氣路（24），出氣檢測氣路（24）上設置有壓力傳感器（21）、壓力測試閥（22）和通過壓力測試閥（22）連接在出氣檢測氣路（24）上的壓力表（23）；

組分氣路（1）連接有排氣管路（25），排氣管路（25）上設置有排氣氣動隔膜閥（26）和針型閥；

組分氣路（1）連接有真空管路（28），真空管路（28）上設置有真空泵（29）、壓力傳感器（21）、球閥（12）和真空氣動隔膜閥（30），

組分氣路（1）還連接有相互并聯的吹掃氣路（31）和氣動氣路（32），吹掃氣路（31）上設置有減壓閥（9），氣動氣路（32）上設置有球閥（12），均與吹掃氣路（31）、氣動氣路（32）與組分氣路（1）連接的連接管路上依次設置有過濾器（5）、針型閥（6）和壓力傳感器（21）；

相配的組分氣路（1）和組分氣瓶（2）均為多個，多條組分氣路（1）之間相互并聯；

在所述系統進行混合氣配制時，對組分氣瓶（2）一側的管路進行抽真空，在其他閥門關閉的情況下，將組分氣路（1）上的組分氣氣動隔膜閥（7）、針型閥（6）、真空管路（28）上的球閥（12）和真空氣動隔膜閥（30）打開，啟動真空泵（29），對組分氣瓶（2）一側的管路進行抽真空操作，觀察真空管路（28）上的壓力傳感器（21）；待真空度滿足要求后，將組分氣氣動隔膜閥（7）、針型閥（6）、真空管路（28）上的球閥（12）和真空氣動隔膜閥（30）關閉，然后打開組分氣瓶（2）上的氣瓶閥門，準備進行充裝；

打開一路組分氣路（1）上的組分氣氣動隔膜閥（7）和針型閥（6），讓與該氣路對應的組分氣瓶（2）中的組分氣流入組分氣路（1）中，如果組分原料氣的輸入量低于預先設定好的參照值，則打開第一氣動隔膜閥（8）和第二氣動隔膜閥（11），以使該組分原料氣通過第一輸送氣路（3）輸送到出氣管路（14）中，此時出氣管路（14）上的出氣氣動隔膜閥（15）處于開啟狀態，該組分原料氣輸入到混合氣氣瓶（16）中；在達到所需的輸入量后，將參與工作的閥門關閉；

如果該組分原料氣的輸入量大于預先設定好的參照值，則打開第三氣動隔膜閥（13），以使該組分原料氣通過第二輸送氣路（4）直接輸送到出氣管路（14）中，此時出氣管路（14）上的出氣氣動隔膜閥（15）處于開啟狀態，該組分原料氣輸入到混合氣氣瓶（16）中；在達到所需的輸入量后，將參與工作的閥門關閉；

在組分原料氣從第一輸送氣路（3）或第二輸送氣路（4）中通過時，出氣檢測氣路（24）上的壓力表（23）能夠檢測要進入出氣管路（14）內的氣體的壓力值；

所有的組分原料氣都按照相應的質量輸送到混合氣氣瓶（16）后，接著通過底氣氣路（18）向混合氣氣瓶（16）中輸入氮氣，將底氣氣路（18）上的針型閥（6）和底氣氣動隔膜閥（19）開啟，氮氣經過濾器（5）的過濾后進入出氣管路（14），并最終進入混合氣氣瓶（16）中；在此過程中，底氣檢測氣路（20）用于對該氣路的真空度和壓力值進行檢測；在達到所需的輸入量后，將上述參與工作的閥門關閉；

在下一次充裝操作之前，首先將出氣管路（14）上的出氣氣動隔膜閥（15）關閉，開啟排氣管路（25）上的排氣氣動隔膜閥（26）和針型閥，以將殘留在系統中各處的氣體排出，然后關閉排氣氣動隔膜閥（26）和針型閥，并打開系統中相應的閥門，重復上述過程；

工作結束后，利用吹掃氣路（31）向系統各部分管路中吹送氮氣，進行在線吹掃。