[發(fā)明專利]一種在超高真空環(huán)境下實現(xiàn)毛細管聚焦X射線的裝置

有效

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• 申請日: 2017-03-10
• 公開（公告）號: CN106782740B
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發(fā)明（設計）人: 鄭雷;唐坤;趙屹東;王嘉鷗;劉樹虎;馬陳燕;李華鵬;趙曉亮;李凡
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院高能物理研究所
• 主分類號: G21K1/06
• 分類號: G21K1/06
• 代理公司: 北京君尚知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙)11200
• 代理人: 司立彬

1.一種在超高真空環(huán)境下實現(xiàn)毛細管聚焦X射線的裝置，其特征在于，包括三維精密位移臺、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器、螺旋測微儀直線導入器和毛細管支架；其中，所述螺旋測微儀直線導入器上設有一直桿，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器上設有一連接用支撐管，所述連接用支撐管一端位于真空腔內(nèi)，該直桿穿過該連接用支撐管進入該真空腔內(nèi)，所述毛細管支架位于該真空腔內(nèi)且與所述連接用支撐管相連，所述連接用支撐管的另一端與該真空腔外的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器密封連接，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器與所述螺旋測微儀直線導入器密封連接；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器用于通過控制該連接用支撐管的旋轉(zhuǎn)帶動所述毛細管支架繞該連接用支撐管的軸線旋轉(zhuǎn)；所述三維精密位移臺用于通過控制該連接用支撐管的移動對該毛細管支架進行三維平移操作；所述毛細管支架上設有一用于連接或安裝毛細管的轉(zhuǎn)軸，該轉(zhuǎn)軸的軸線垂直于該連接用支撐管的軸線，所述螺旋測微儀直線導入器通過所述直桿驅(qū)動該轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述螺旋測微儀直線導入器安裝在所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器上，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器安裝在所述三維精密位移臺的Z方向平移機構(gòu)上，該Z方向平移機構(gòu)安裝在所述三維精密位移臺的Y方向平移機構(gòu)上，該Y方向平移機構(gòu)安裝在所述三維精密位移臺的X方向平移機構(gòu)上。

3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述三維精密位移臺通過法蘭和波紋管與該真空腔密封連接。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述三維精密位移臺的X方向平移機構(gòu)、Y方向平移機構(gòu)通過該法蘭與該真空腔密封連接，該法蘭內(nèi)設有一波紋管，即粗波紋管，該粗波紋管一端通過法蘭A與該真空腔密封連接，另一端通過法蘭B與該X方向平移機構(gòu)、Y方向平移機構(gòu)以及所述三維精密位移臺的Z方向平移機構(gòu)下端口密封連接；該所述三維精密位移臺的Z方向平移機構(gòu)上設有一波紋管，即細波紋管，該細波紋管的一端通過法蘭C與該Z方向平移機構(gòu)的下端口密封連接，另一端通過法蘭D與該Z方向平移機構(gòu)的上端口密封連接；所述連接用支撐管穿過該細波紋管、粗波紋管進入該真空腔內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述連接用支撐管的另一端焊接在一盲法蘭上，該盲法蘭固定在該細波紋管的法蘭D上。

6.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述三維精密位移臺的Z方向平移機構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器密封連接。

7.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述毛細管支架包括一筒狀單元，該筒狀單元下端設有所述轉(zhuǎn)軸以及與所述轉(zhuǎn)軸連接的傳動單元，所述直桿通過該傳動單元驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述連接用支撐管伸入所述筒狀單元上端內(nèi)部與所述毛細管支架連接。

9.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述傳動單元包括彈簧、杠桿組件、直角推桿，所述轉(zhuǎn)軸與所述杠桿組件連接，所述杠桿組件的上端設有一A端與該直角推桿的下端接觸，所述杠桿組件的下端設有一B端與該彈簧的一端連接，該彈簧的另一端與所述筒狀單元的底端連接；該直角推桿的上端位于所述筒狀單元內(nèi)部；所述直桿與該直角推桿的上端連接，用于對該直角推桿施力，所述杠桿組件用于通過該力驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動。

10.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸的中心或其軸線延長線上設有一用于安裝毛細管的孔。