[發(fā)明專利]一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710141053.9
• 申請(qǐng)日: 2017-03-10
• 公開（公告）號(hào): CN107065430B
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧意飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/36
• 分類號(hào): G03F1/36;G03F1/38
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

1.一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟S01：設(shè)計(jì)主圖形，所述主圖形為需要曝光顯影的各種圖形的陣列集合；

步驟S02：基于添加規(guī)則在主圖形的直邊外和尖角外上添加亞分辨率輔助圖形；

步驟S03：進(jìn)行光刻仿真；

步驟S04：掃描仿真結(jié)果,計(jì)算主圖形中各個(gè)圖形經(jīng)曝光后的尺寸，獲取無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)值或足夠工作窗口的圖形，設(shè)為工藝薄弱圖形；其中，所述工藝薄弱圖形位于主圖形的最外圈圖形所包圍的內(nèi)部；

步驟S05：在工藝薄弱圖形周圍空隙添加滿足光刻版可制造性規(guī)則的旋轉(zhuǎn)的亞分辨率輔助圖形；其中，所述亞分辨率輔助圖形的邊與其周圍主圖形的最小距離均滿足光刻版可制造性規(guī)則。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法，其特征在于，所述步驟S05中，所述旋轉(zhuǎn)的角度為45°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法，其特征在于，所述步驟S02和S05中，所述亞分辨率輔助圖形的形狀包括長(zhǎng)方形。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法，其特征在于，所述步驟S02和S05中，所述亞分辨率輔助圖形的形狀是正方形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法，其特征在于，所述步驟S02中，所述添加規(guī)則包括定義亞分辨率輔助圖形的尺寸、亞分辨率輔助圖形與主圖形的距離、亞分辨率輔助圖形與相鄰亞分辨率輔助圖形的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法，其特征在于，所述步驟S01中，所述主圖形為矩陣通孔圖形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于規(guī)則的亞分辨率輔助圖形添加方法，其特征在于，所述步驟S05中，在所述工藝薄弱圖形的周圍均勻添加4個(gè)旋轉(zhuǎn)45°的正方形的亞分辨率輔助圖形。