[發明專利]一種柔性超表面結構

有效

• 申請號: 201710139968.6
• 申請日: 2017-03-09
• 公開（公告）號: CN106918850B
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 李彤;陳良惠;宋國峰;江宇;宋甲坤;韋欣;徐云
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G02B1/00
• 分類號: G02B1/00;G02B5/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

1.一種柔性超表面結構，包括：亞波長微納結構重復單元和柔性襯底，多個所述亞波長微納結構重復單元呈周期性排布在所述柔性襯底上，

所述亞波長微納結構重復單元用于在所述柔性襯底上產生等離子體耦合共振；以及

所述柔性襯底具有可延展特性，所述柔性襯底的制備材料是PDMS、polyimide、PET、PEN、BCB、PMMA、Polypropylene、Parylene、SU8或Polystyrene中的一種；其中，

所述亞波長微納結構重復單元包括兩個相互獨立的共振單元，分別為：第一亞波長微納結構和第二亞波長微納結構，所述第一亞波長微納結構與所述第二亞波長微納結構組合排布在同一表面上，用于接收正入射的平面波；

通過外加應力來改變兩個共振單元的間距，從而改變兩個共振單元支持的亮暗兩種共振模式的耦合強度實現表面等離子耦合峰位的動態調節；所述正入射的平面波用于激發所述第一亞波長微納結構中的電共振模式作為亮模式；以及

所述第一亞波長微納結構中的亮模式用于激發所述第二亞波長微納結構的耦合共振模式作為暗模式。

2.根據權利要求1所述的柔性超表面結構，其特征在于，所述第一亞波長微納結構中的亮模式和所述第二亞波長微納結構中的暗模式在頻率上接近。

3.根據權利要求1所述的柔性超表面結構，其特征在于，所述第一亞波長微納結構中的亮模式和所述第二亞波長微納結構中的暗模式用于在所述柔性襯底上相消干涉產生一個透明區域，產生表面等離子體耦合共振。

4.根據權利要求1所述的柔性超表面結構，其特征在于，所述第一亞波長微納結構和所述第二亞波長微納結構之間的間距與所述第一亞波長微納結構中的亮模式和所述第二亞波長微納結構中的暗模式之間的相互作用強度具備一一對應的關系。

5.根據權利要求1所述的柔性超表面結構，其特征在于，所述第一亞波長微納結構和所述第二亞波長微納結構的制備材料是金屬材料：金、銀、鋁、銅，或高折射率電介質材料：硅、鍺、三氧化二鋁、二氧化鈦、氧化鋅中的一種。