[發明專利]濺射鍍膜設備及其鍍膜腔室

有效

• 申請號: 201710136620.1
• 申請日: 2017-03-08
• 公開（公告）號: CN106893993B
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 劉壯;崔駿;張擷秋;楊世航;陳旺壽;李霖;顧光一
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 余哲瑋

1.一種鍍膜腔室，其特征在于，包括：

外殼，所述外殼圍成鍍膜腔，所述外殼包括底壁、前壁及與所述前壁相對的后壁；

陰極，設置于所述前壁上，且沿所述前壁排列；

基架，可滑動地設置于所述底壁上，所述基架的運動方向與所述陰極排列的方向一致；

支架，可轉動地設置于所述基架上，所述支架能夠承載樣品；及

驅動機構，用于驅動所述支架轉動；

所述基架還包括支架連接座，所述支架固定于所述支架連接座，且所述支架通過所述支架連接座與所述基架相連接。

2.根據權利要求1所述的鍍膜腔室，其特征在于，所述驅動機構包括：

鋸齒導軌，設置于所述前壁或所述后壁上，所述鋸齒導軌為條狀結構，其上帶有鋸齒；及

齒輪，與所述支架相聯動，所述齒輪與所述鋸齒導軌相嚙合；

其中，所述基架滑動，所述鋸齒導軌與所述齒輪相配合，以帶動所述支架轉動。

3.根據權利要求2所述的鍍膜腔室，其特征在于，所述支架的一端穿設所述基架，且與所述齒輪相連接，所述基架開設有用于避位所述齒輪的避位孔，所述齒輪穿設所述避位孔并與所述鋸齒導軌相嚙合。

4.根據權利要求1所述的鍍膜腔室，其特征在于，所述基架還包括軸承，所述支架連接座通過所述軸承與所述齒輪可轉動連接。

5.根據權利要求1所述的鍍膜腔室，其特征在于，所述支架連接座的端部開設有安裝孔，所述支架的一端穿設于所述安裝孔中。

6.根據權利要求5所述的鍍膜腔室，其特征在于，所述安裝孔為兩個相對設置的半圓形孔，所述支架的一端相對設置有兩個截面為半圓形的插入部，兩個所述插入部分別與兩個所述半圓形孔相配合。

7.根據權利要求1所述的鍍膜腔室，其特征在于，還包括基架導軌，所述基架可滑動地設置于所述基架導軌上。

8.根據權利要求1所述的鍍膜腔室，其特征在于，所述支架為多個，多個支架在所述基架上均勻排布。

9.一種濺射鍍膜設備，其特征在于，包括依次相連的進樣腔室、第一過渡腔室、如權利要求1至權利要求8任意一項所述的鍍膜腔室、第二過渡腔室及出樣腔室。