[發明專利]微波波導部件、微波波導抽氣裝置和加速器

有效

• 申請號: 201710135020.3
• 申請日: 2017-03-08
• 公開（公告）號: CN108574131B
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 王平;施嘉儒;陳懷璧;劉耀紅;劉晉升;閻忻水;張亮
• 申請（專利權）人: 清華大學;同方威視技術股份有限公司
• 主分類號: H01P5/18
• 分類號: H01P5/18;H01P5/19;H01P5/12
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張啟程

1.一種微波波導部件，包括：

設置有第一波導口的微波分離裝置，所述微波分離裝置配置成將從所述第一波導口輸入的微波分離成第一路微波和第二路微波；和

設置有第二波導口的微波合成裝置，所述微波合成裝置配置成將所述第一路微波和第二路微波合成為第三路微波，所述第三路微波從所述第二波導口輸出，

其中，所述微波分離裝置和微波合成裝置中的至少一者設有第三波導口，所述第三波導口在物理空間上與所述第一波導口和第二波導口連通但在微波傳導上與所述第一波導口和第二波導口隔離，所述第三波導口為抽氣口。

2.根據權利要求1所述的微波波導部件，其中，所述微波分離裝置具有第一支路、第二支路和第三支路，所述第一波導口設置于第一支路的末端，第一路微波傳導入第二支路，第二路微波傳導入第三支路；且

所述微波合成裝置具有第四支路、第五支路和第六支路，所述第四支路和第五支路分別與微波分離裝置的第二支路和第三支路對接以形成環狀波導部，所述第一路微波從第二支路傳導入第四支路，所述第二路微波從第三支路傳導入第五支路，所述第二波導口設置于所述第六支路的末端，

其中，所述微波分離裝置和微波合成裝置中的至少一者中還設置有第七支路，所述第三波導口設置在所述第七支路的末端。

3.根據權利要求1所述的微波波導部件，其中，所述第一路微波的功率與所述第二路微波的功率相等。

4.根據權利要求1所述的微波波導部件，其中，所述微波分離裝置包括3dB耦合器、魔T或功率分配器。

5.根據權利要求1所述的微波波導部件，其中，所述微波合成裝置包括3dB耦合器、魔T或功率分配器。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的微波波導部件，還包括微波反射器，所述微波反射器設置在所述第三波導口處，配置成反射從所述微波分離裝置或微波合成裝置向第三波導口泄漏的微波。

7.根據權利要求6所述的微波波導部件，其中，所述微波反射器包括：

位于朝向第三波導口的微波出口一側的第一矩形波導；

位于背向第三波導口的微波出口一側的第二矩形波導；以及

連接在所述第一矩形波導和第二矩形波導之間的一個或并行排列的多個圓波導，

其中，在所述第二矩形波導中設置有反射柱，用于對微波進行反射。

8.根據權利要求7所述的微波波導部件，其中，所述反射柱位于所述第二矩形波導的橫截面的中間位置。

9.根據權利要求7所述的微波波導部件，其中，所述反射柱在所述第二矩形波導的橫截面中所占的面積小于或等于所述第二矩形波導的橫截面面積的三分之一。

10.根據權利要求7所述的微波波導部件，其中，所述圓波導的長度至少為10mm。

11.根據權利要求7所述的微波波導部件，其中，所述反射柱由金屬制成。

12.根據權利要求1-5中任一項所述的微波波導部件，其中，所述第一波導口和第二波導口具有相同的波導模式。

13.一種微波波導抽氣裝置，包括：

根據權利要求1-12中任一項所述的微波波導部件；以及

氣泵，所述氣泵與所述第三波導口相連，用于對微波波導部件抽真空。

14.一種加速器，包括根據權利要求1-12中任一項所述的微波波導部件或根據權利要求13所述的微波波導抽氣裝置。