[發(fā)明專利]合成石英玻璃基板的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710134890.9 | 申請日： | 2017-03-09 |
| 公開（公告）號： | CN107176794B | 公開（公告）日： | 2021-11-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 石塚洋行;渡部厚;原田大實;竹內(nèi)正樹 | 申請（專利權(quán)）人： | 信越化學(xué)工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | C03C17/34 | 分類號： | C03C17/34;C03B33/07;B24B1/00 |
| 代理公司： | 中國貿(mào)促會專利商標事務(wù)所有限公司 11038 | 代理人： | 杜麗利 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 合成 石英玻璃 制備 方法 | ||
1.合成石英玻璃基板的制備方法，包括下述步驟：
提供待切割為合成石英玻璃基板的合成石英玻璃塊材，該玻璃塊材具有與切割平面平行的表面和與其相對的表面，
用在雙折射測定波長下具有至少99.0％/mm的透射率的液體涂布該玻璃塊材的相對表面，
通過引導(dǎo)光以進入一個涂布表面并且從另一涂布表面出現(xiàn)，從而測定該玻璃塊材的雙折射，
基于雙折射測定和該基板的尺寸，確定切割該玻璃塊材的切割厚度，和
以確定的切割厚度將該玻璃塊材切割為合成石英玻璃基板,
其中該基板的尺寸為300mm至小于900mm×300mm至小于900mm×αmm厚度，
當該玻璃塊材具有0nm/cm至小于30nm/cm的雙折射測定時，將該切割厚度設(shè)定為(α+0.02α)至(α+0.04α)mm，并且當該玻璃塊材具有30nm/cm至50nm/cm的雙折射測定時，將該切割厚度設(shè)定為(α+0.03α)至(α+0.05α)mm。
2.合成石英玻璃基板的制備方法，包括下述步驟：
提供待切割為合成石英玻璃基板的合成石英玻璃塊材，該玻璃塊材具有與切割平面平行的表面和與其相對的表面，
用在雙折射測定波長下具有至少99.0％/mm的透射率的液體涂布該玻璃塊材的相對表面，
通過引導(dǎo)光以進入一個涂布表面并且從另一涂布表面出現(xiàn)，從而測定該玻璃塊材的雙折射，
基于雙折射測定和該基板的尺寸，確定切割該玻璃塊材的切割厚度，和
以確定的切割厚度將該玻璃塊材切割為合成石英玻璃基板,
其中該基板的尺寸為900mm至小于1,800mm×900mm至小于1,800mm×αmm厚度，
當該玻璃塊材具有0nm/cm至小于20nm/cm的雙折射測定時，將該切割厚度設(shè)定為(α+0.02α)至(α+0.04α)mm，并且當該玻璃塊材具有20nm/cm至40nm/cm的雙折射測定時，將該切割厚度設(shè)定為(α+0.03α)至(α+0.05α)mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，在該切割步驟后，還包括：對該合成石英玻璃基板進行研磨或磨光、粗拋光和精拋光的步驟。
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