[發明專利]低溫泵、低溫泵吸留氣體量推測裝置及其推測方法

有效

• 申請號: 201710134343.0
• 申請日: 2017-03-08
• 公開（公告）號: CN107218195B
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發明（設計）人: 高橋走
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

本發明提供一種有助于恰當地設定低溫泵再生間隔的指標。低溫泵吸留氣體量推測裝置具備：極限壓力確定部(110)，根據表示低溫泵真空容器內的真空度的真空測量信號(V)，確定低溫泵真空容器的極限壓力(P)；及吸留氣體量定量化部(112)，具備使極限壓力(P)與吸留氣體量推測值(G)建立關聯的吸留氣體量定量化函數(116)，并且將極限壓力(P)轉換成吸留氣體量推測值(G)。

本申請主張基于2016年3月22日申請的日本專利申請第2016-057049號的優先權。該日本申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

技術領域

本發明涉及一種低溫泵、低溫泵吸留氣體量推測裝置以及低溫泵吸留氣體量推測方法。

背景技術

低溫泵是通過冷凝或吸附將氣體分子捕捉于冷卻至超低溫的低溫板從而進行排氣的真空泵。低溫泵通常是為了實現半導體電路制造工藝等中要求的清潔的真空環境而進行利用。

專利文獻1：日本特開平9-14133號公報

由于低溫泵是捕集式真空泵，因此，通過低溫泵的真空排氣運行，氣體會蓄積到低溫泵。隨著氣體的蓄積，低溫泵的排氣速度逐漸下降。因此，為了從低溫泵排出已蓄積的氣體以使排氣速度恢復到初始水平，定期進行低溫泵的再生。上一次再生結束之后到進行下一次再生為止的真空排氣運行期間又稱作再生間隔。由于再生期間無法進行低溫泵的真空排氣運行，因此希望再生間隔盡可能長。

在低溫泵的某一用途中，為了在真空處理工藝中使用而導入的氣體占捕捉于低溫泵的氣體的大部分。通常，對真空處理工藝中導入的氣體進行管理并進行計量。由于通過計算可以從氣體導入量準確地獲取低溫泵的吸留氣體量，因此據此可以容易地設定再生間隔。

相對于此，在另一用途中，為了去除真空處理工藝中的副產氣體(例如，離子注入工藝中產生的較多的氫氣)而使用低溫泵。副產氣體的產生量一般不明確。因此，低溫泵的吸留氣體量也不明確，很難恰當地設定再生間隔。如上所述，不提倡較短的再生間隔。若再生間隔過長，則低溫泵的排氣速度會顯著下降，可能會頻繁出現真空不良現象。

發明內容

本發明是鑒于這種情況而完成的，本發明的一種實施方式的例示性目的之一在于提供有助于恰當地設定低溫泵再生間隔的指標。

根據本發明的一種實施方式方式，低溫泵具備：低溫泵真空容器；真空計，設置于所述低溫泵真空容器，以便測量所述低溫泵真空容器內的真空度，并輸出真空測量信號；以及吸留氣體量推測部，其與所述真空計連接，以便從所述真空計接收所述真空測量信號，并且所述吸留氣體量推測部具備極限壓力確定部和吸留氣體量定量化部，所述極限壓力確定部根據所述真空測量信號確定所述低溫泵真空容器的極限壓力，所述吸留氣體量定量化部具備使所述極限壓力與吸留氣體量推測值建立關聯的吸留氣體量定量化函數，并且將所述極限壓力轉換成所述吸留氣體量推測值。

根據本發明的一種實施方式，低溫泵吸留氣體量推測裝置具備：極限壓力確定部，根據表示低溫泵真空容器內的真空度的真空測量信號，確定所述低溫泵真空容器的極限壓力；以及吸留氣體量定量化部，具備使所述極限壓力與吸留氣體量推測值建立關聯的吸留氣體量定量化函數，并將所述極限壓力轉換成所述吸留氣體量推測值。

根據本發明的一種實施方式，低溫泵吸留氣體量推測方法具備如下步驟：測量低溫泵真空容器內的真空度并生成真空測量信號；根據所述真空測量信號確定所述低溫泵真空容器的極限壓力；以及使用使所述極限壓力與吸留氣體量推測值建立關聯的吸留氣體量定量化函數將所述極限壓力轉換成所述吸留氣體量推測值。

另外，上述構成要件的任意組合或本發明的構成要件或表現在裝置、方法、系統、計算機程序、存儲有計算機程序的存儲介質等之間的互相置換也作為本發明的實施方式而有效。

根據本發明，能夠提供有助于恰當地設定低溫泵再生間隔的指標。

附圖說明