[發明專利]用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置

有效

• 申請號: 201710129703.8
• 申請日: 2017-03-07
• 公開（公告）號: CN108572106B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 申亞京;陸豪健
• 申請（專利權）人: 香港城市大學深圳研究院
• 主分類號: G01N3/00
• 分類號: G01N3/00;G01N3/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 朱坤鵬;王春光

1.一種用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置，其特征在于，在以X、Y、Z為坐標軸的空間直角坐標系中，該用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置包括沿X坐標軸的正方向依次設置的左加載調節組件和右加載調節組件，所述左加載調節組件含有沿X坐標軸的正方向依次連接的左部旋轉壓電陶瓷電機(3)、左部垂直直線壓電陶瓷電機(4)和左部水平直線壓電陶瓷電機(5)，左部旋轉壓電陶瓷電機(3)能夠驅動左部垂直直線壓電陶瓷電機(4)和左部水平直線壓電陶瓷電機(5)以X坐標軸為軸旋轉，左部垂直直線壓電陶瓷電機(4)能夠驅動左部水平直線壓電陶瓷電機(5)沿Z坐標軸的方向移動，所述右加載調節組件含有沿Z坐標軸的方向依次連接的右部連接塊(12)和右部推進直線壓電陶瓷電機(13)，右部推進直線壓電陶瓷電機(13)能夠驅動右部連接塊(12)沿X坐標軸的方向移動；

右部連接塊(12)連接有右部垂直直線壓電陶瓷電機(11)；右部垂直直線壓電陶瓷電機(11)連接有右部水平直線壓電陶瓷電機(10)，右部水平直線壓電陶瓷電機(10)、右部垂直直線壓電陶瓷電機(11)和右部連接塊(12)沿X坐標軸的正方向依次設置，右部垂直直線壓電陶瓷電機(11)能夠驅動右部水平直線壓電陶瓷電機(10)沿Z坐標軸的方向移動。

2.根據權利要求1所述的用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置，其特征在于，左部水平直線壓電陶瓷電機(5)連接有左部樣品固定平臺(6)，左部樣品固定平臺(6)位于左部水平直線壓電陶瓷電機(5)和該右加載調節組件之間，左部水平直線壓電陶瓷電機(5)能夠驅動左部樣品固定平臺(6)沿Y坐標軸的方向移動。

3.根據權利要求2所述的用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置，其特征在于，左部樣品固定平臺(6)呈凸字形，左部樣品固定平臺(6)的頂部為朝向所述右加載調節組件凸出的凸出部，左部樣品固定平臺(6)的底部與左部水平直線壓電陶瓷電機(5)連接固定，左部樣品固定平臺(6)為片狀結構，左部樣品固定平臺(6)與X坐標軸平行。

4.根據權利要求3所述的用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置，其特征在于，左部樣品固定平臺(6)的頂端外連接有傳感器模塊(7)。

5.根據權利要求1所述的用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置，其特征在于，右部水平直線壓電陶瓷電機(10)連接有右部樣品固定平臺(9)，右部樣品固定平臺(9)位于右部水平直線壓電陶瓷電機(10)和該左加載調節組件之間，右部水平直線壓電陶瓷電機(10)能夠驅動右部樣品固定平臺(9)沿Y坐標軸的方向移動。

6.根據權利要求5所述的用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置，其特征在于，右部樣品固定平臺(9)呈凸字形，右部樣品固定平臺(9)的頂部為朝向所述左加載調節組件凸出的凸出部，右部樣品固定平臺(9)的底部與右部水平直線壓電陶瓷電機(10)連接固定，右部樣品固定平臺(9)為片狀結構，右部樣品固定平臺(9)與X坐標軸平行。

7.根據權利要求1所述的用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置，其特征在于，該用于微納樣品的原位復合加載與測量裝置還包括固定基座(1)，左部旋轉壓電陶瓷電機(3)通過左部操作臂連接塊(2)與固定基座(1)連接固定，右部推進直線壓電陶瓷電機(13)通過右部操作臂連接塊(14)與固定基座(1)連接固定。