[發(fā)明專利]一種腔外可控的真空氣體靶裝置

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• 申請日: 2017-03-06
• 公開（公告）號: CN106841261A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何林李;尉鵬飛;王艷偉;李士本;段艷敏;朱海永;于永麗
• 申請（專利權(quán)）人: 溫州大學(xué)
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22
• 代理公司: 浙江永鼎律師事務(wù)所33233
• 代理人: 陸永強(qiáng)

1.一種腔外可控的真空氣體靶裝置，包括氣腔，氣腔為中空的圓柱直通管，其特征在于所述氣腔的左端塞有左活塞，氣腔的右端塞有右活塞，所述左活塞的端部連有左可伸縮波紋管，所述左可伸縮波紋管的端部連有左三通管，所述左三通管的左端設(shè)有入射窗，所述左三通管的下端連有左外置三通管，所述左外置三通管的下端連有變徑轉(zhuǎn)接口，所述變徑轉(zhuǎn)接口的另一端連有真空計，所述右活塞的端部連有右可伸縮波紋管，所述右可伸縮波紋管的端部連有右三通管，所述右三通管的右端設(shè)有出射窗，所述右三通管的下端連有右外置三通管，所述右外置三通管的下端連有擋板閥，所述擋板閥的另一端連有真空泵，所述左外置三通管和右外置三通管之間通過鏈接波紋管連通，所述三通管、可伸縮波紋管、外置三通管和鏈接波紋管相連，形成一個內(nèi)部完全連通的真空腔體，所述活塞的底部設(shè)有固定支架卡槽，所述固定支架卡槽內(nèi)設(shè)有固定支架，所述固定支架的另一端連有直線平移臺，所述直線平移臺的底部連有底座，直線平移臺與底座之間采用滑動連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種腔外可控的真空氣體靶裝置，其特征在于所述活塞呈圓柱體，由推拉主體、密封窗口和窗口壓板構(gòu)成，密封窗口設(shè)置在推拉主體和窗口壓板之間，所述推拉主體內(nèi)部中空，中空結(jié)構(gòu)呈圓錐形，所述推拉主體上設(shè)有密封圈卡槽，密封圈卡槽內(nèi)放置密封O型圈，所述推拉主體的頂部設(shè)有窗口密封卡槽和螺栓孔，所述窗口壓板內(nèi)部中空，窗口壓板通過窗口密封卡槽和螺栓與所述推拉主體緊密相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種腔外可控的真空氣體靶裝置，其特征在于所述氣腔上設(shè)有接入口，所述接入口連有導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管的另一端連有儲氣瓶，儲氣瓶內(nèi)裝有氣體，所述導(dǎo)氣管上還設(shè)有微調(diào)閥和氣壓計。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種腔外可控的真空氣體靶裝置，其特征在于所述氣腔上設(shè)有氣腔固緊支架。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種腔外可控的真空氣體靶裝置，其特征在于所述三通管、可伸縮波紋管、外置三通管、鏈接波紋管和擋板閥的接口均采用KF40真空法蘭標(biāo)準(zhǔn)接口，各個接口之間采用密封O型圈和卡箍進(jìn)行固緊密封。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種腔外可控的真空氣體靶裝置，其特征在于所述氣腔的材料為透明的有機(jī)玻璃。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種腔外可控的真空氣體靶裝置，其特征在于所述直線平移臺上設(shè)有若干螺栓孔，所述固定支架通過螺栓與直線平移臺螺接。