[發明專利]預處理裝置和預處理方法及緩沖層及其制備方法和設備與太陽能電池及其制備方法和系統

有效

• 申請號: 201710127908.2
• 申請日: 2017-03-06
• 公開（公告）號: CN108538955B
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發明（設計）人: 左寧;于濤;郭凱;張傳升;宋彬彬;李新連;趙樹利
• 申請（專利權）人: 神華集團有限責任公司;北京低碳清潔能源研究所
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0749
• 代理公司: 11283 北京潤平知識產權代理有限公司
• 代理人: 嚴政;劉依云

1.一種用于在形成太陽能電池緩沖層時進行預處理的裝置，其特征在于，所述預處理裝置包括盛水托盤、真空腔體和儲水容器；

所述盛水托盤用于盛放待處理樣片；

所述真空腔體用于放置盛放有待處理樣片的盛水托盤，所述真空腔體通過真空閥門與抽真空裝置連通，且通過放氣閥門與外界連通；

所述儲水容器用于往放置在所述真空腔體中的盛水托盤中注入水，且所述儲水容器通過注水閥門與所述真空腔體連通。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述真空腔體包括可拆卸連接的腔體下部和腔體上蓋。

3.一種形成太陽能電池緩沖層的設備，其特征在于，所述設備包括化學水浴沉積裝置和權利要求1或2所述的進行預處理的裝置，覆蓋有吸收層的太陽能電池背電極經所述進行預處理的裝置進行預處理之后直接進入所述化學水浴沉積裝置中進行化學水浴沉積以在所述吸收層的表面形成緩沖層。

4.根據權利要求3所述的設備，其中，所述化學水浴沉積裝置為水浴鍋和水浴槽中的至少一種。

5.一種形成太陽能電池緩沖層的方法，其特征在于，該方法包括：

將覆蓋有吸收層的太陽能電池背電極放置在權利要求1或2所述的進行預處理的裝置中，以使其在真空環境下浸沒在水中；

使所述進行預處理的裝置恢復常壓，并從所述進行預處理的裝置中取出所述覆蓋有吸收層的太陽能電池背電極；

之后放入沉積反應液中以在所述覆蓋有吸收層的太陽能電池背電極的所述吸收層的表面通過化學水浴沉積形成緩沖層，

其中，在形成所述緩沖層之前，所述覆蓋有吸收層的太陽能電池背電極自放置在所述進行預處理的裝置中時起，始終浸沒在水中。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，所述水為超純水和/或去離子水。

7.根據權利要求5所述的方法，其中，所述真空環境使得真空度為-0.1Mpa以下。

8.根據權利要求5所述的方法，其中，所述真空環境使得真空度為-0.1～-0.4MPa。

9.根據權利要求5-8中任意一項所述的方法，其中，所述沉積反應液中含有鎘鹽、銨鹽、硫脲和水，且所述鎘鹽的濃度為0.001～0.01mol/L，所述銨鹽的濃度為0.001～0.005mol/L，所述硫脲的濃度為0.05～0.2mol/L，所述沉積反應液的pH值為9～12。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，所述鎘鹽選自硫酸鎘、乙酸鎘、氯化鎘和碘化鎘中的至少一種。

11.根據權利要求9所述的方法，其中，所述銨鹽選自氯化銨、硫酸銨和乙酸銨中的至少一種。

12.由權利要求5-11中任意一項所述的方法形成的太陽能電池緩沖層。

13.一種制備太陽能電池的方法，該方法包括在太陽能電池背電極的底電極上依次形成吸收層、緩沖層、氧化鋅層、氧化鋅鋁層和前電極，其特征在于，所述緩沖層按照權利要求5-11中任意一項所述的方法形成。

14.由權利要求13所述的方法制備得到的太陽能電池。

15.一種生產太陽能電池的系統，其特征在于，該系統包括權利要求3或4所述的形成太陽能電池緩沖層的設備。