[發明專利]一種新風凈化方法及其設備

在審

• 申請號: 201710127568.3
• 申請日: 2017-03-06
• 公開（公告）號: CN107796066A
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 錢菁;石小雷;張正兵;王東;徐敏;丁林輝
• 申請（專利權）人: 江蘇嘉合建設有限公司
• 主分類號: F24F3/16
• 分類號: F24F3/16;F24F13/28
• 代理公司: 上海專尚知識產權代理事務所(普通合伙)31305
• 代理人: 張雪勇,周承澤

技術領域

本發明涉及一種高級別空氣凈化方法及設備，尤其涉及一種新風凈化方法及其設備。

背景技術

電子工業中微電子(集成電路)工廠和光電子(TFT-LCD、OLED、……)工廠是高科技、高投入、高能耗、高污染的四高企業。隨著加工工藝的發展，其凈化廠房或潔凈室不但廠房面積大、層高高，而且對受控環境的要求越來越高、越來越嚴。

一般來說，光電子和微電子用的潔凈室或凈化廠房的單間潔凈廠房的面積可達10000m²、40000m²、60000m²甚至達到80000m²；跨度很大，一般是100m、150m甚至達到250m；層高很高，一般上技術夾層、工藝層和下技術夾層三層結構的總高度超過20m，單工藝生產層的高度就高達7.5m甚至9m。

光電子和微電子用的潔凈室或凈化廠房對室內潔凈度有非常嚴格的要求，一般為ISO6級、ISO5級，要求高的還有ISO3級、ISO2級或更高的潔凈度；其次，除了潔凈度的要求之外，光電子和微電子用的凈化廠房或潔凈室對環境的化學污染控制的要求也非常高，一般要求達到PPb級；再次，光電子和微電子用的潔凈室或凈化廠房對溫度、相對濕度也提出極為嚴格的要求，一般溫度為23±0.5℃，相對濕度為45±5％；要求嚴格的可能高到溫度23±0.1℃；相對濕度45±2％；不僅如此，光電子和微電子用的潔凈室或凈化廠房對室內環境的正壓、照度、噪聲、靜電、屏蔽、微振都有很嚴格的要求。且難度較大。

在如此大的空間下要實現潔凈度、溫濕度等的控制，空氣處理工藝是亟需解決的技術難題。空氣處理的方案基本上采用新風機組(MAU)+風機過濾機組(FFU)+干冷盤管(DC)方案。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種新風凈化方法，其對新風依次進行以下步驟：初效過濾處理，中效過濾處理，防凍預熱處理，一級表冷降溫除濕處理，淋水處理，二級表冷處理，加熱處理，加濕處理，化學吸附處理，中效過濾處理，高效過濾器處理。可以理解的是，新風是由風機提供動力的。

在一個優選的實施例中，在化學吸附處理之前，進行均流處理。

在一個優選的實施例中，所述淋水處理是采用噴水方式處理。

在一個優選的實施例中，所述加濕處理是采用蒸汽加濕處理。

本發明還提供了一種新風凈化機組，其具有：進風段，初效過濾段，中效過濾段，防凍預熱段，一級表冷段，淋水段，二級表冷段，加熱段，加濕段，風機段，均流段，化學過濾段，中效過濾段，高效過濾段，出風段。

在一個優選的實施例中，所述化學過濾段為活性炭化學過濾段。

在一個優選的實施例中，本發明還提供了一種新風凈化機組，其具有：進風段，初效過濾段，中效過濾段，防凍預熱段，一級表冷段，淋水段，二級表冷段，加熱段，加濕段，風機段，均流段，活性炭化學過濾段，中效過濾段，高效過濾段和出風段共15個功能段。

本發明的新風機組(MAU)可以保證潔凈廠房內的正壓，防止外面的污染空氣進入潔凈廠房，保護潔凈廠房的潔凈度；本發明的新風機組(MAU)還可以保證潔凈廠房內的相對濕度和相對濕度的精度要求；本發明的新風機組(MAU)還可以清除新風中的SO₂、NOx、Na、HS、H₂S、NH₃……等對工藝有害的化學污染元素；本發明的新風機組(MAU)還可以保護潔凈廠房吊頂上FFU中的高效或超高效過濾器，使其能正常地工作6年--8年，延長FFU的工作壽命。

本發明的凈化新風機組的功能能夠完成五大任務：1)保證潔凈廠房的正壓，新風機組的風機應能有足夠風量補充廠房的排風和正壓滲漏風量；2)保證潔凈廠房內的相對濕度，新風機組要求足夠的去濕能力(二級表冷)和足夠的加濕能力(淋水室和電加濕器)；3)冬季新風機組要有防凍的能力，即有防凍預加熱器；4)新風機組設有活性炭過濾器，要能去除新風中的化學污染達到ppb級；5)新風機組要有足夠的預過濾能力，以保護潔凈廠房內FFU中的高效和超高效過濾器延長其使用壽命，因此新風機組設有初效、中效和高效過濾器。本發明的凈化新風機組功能段的配置能夠完成上述五項主要功能。

下面通過參考附圖和具體實施方式進一步詳細闡述本發明，但這些闡述僅僅是為了使本領域技術人員更好地理解和實施本發明，并不對本發明做任何形式的限制。除非另有說明，否則本文所用的所有科學和技術術語具有本發明所屬和相關技術領域的一般技術人員通常理解的含義。

附圖說明