[發(fā)明專(zhuān)利]一種低噪聲的樣品相對(duì)濕度連續(xù)可調(diào)的原子力顯微鏡

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710126774.2
• 申請(qǐng)日: 2017-02-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106771374A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙永建;張向平;方曉華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 金華職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類(lèi)號(hào): G01Q60/24
• 分類(lèi)號(hào): G01Q60/24;G01Q30/12
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種低噪聲的樣品相對(duì)濕度連續(xù)可調(diào)的原子力顯微鏡，由濕度控制器連通原子力顯微鏡組成，所述濕度控制器主要包括氣體入口I(1)、管路三通I(2)、干氣路流量調(diào)節(jié)器(3)、濕氣路流量調(diào)節(jié)器(4)、氣體入口II(5)、氣體出口II(6)、由防濺擋板(7)、超聲單元(8)、冷卻器(9)組成的超聲噴霧器(10)、管路三通II(11)、氣體混合室I(12)、氣體混合室II(13)、氣體出口I(14)、溫度及濕度感應(yīng)器I(15)、溫度及濕度感應(yīng)器II(16)、氣體入口III(21)、氣體出口III(22)、隔離減震器I(23)、隔離減震器II(24)及通氣管路，所述原子力顯微鏡主要包括掃描腔(17)、懸臂及針尖(18)、控制電路(19)、樣品(20)，其中懸臂及針尖(18)和樣品(20)位于所述掃描腔(17)內(nèi)、控制電路(19)位于所述掃描腔(17)外并通過(guò)電纜與懸臂及針尖(18)、樣品(20)相連，其特征是：所述氣體入口II(5)、濕氣路流量調(diào)節(jié)器(4)、管路三通I(2)、干氣路流量調(diào)節(jié)器(3)、管路三通II(11)、氣體出口II(6)依次連通，所述氣體入口I(1)連通管路三通I(2)，所述濕氣路流量調(diào)節(jié)器(4)、干氣路流量調(diào)節(jié)器(3)與由計(jì)算機(jī)控制的馬達(dá)連接且能夠控制氣體流速，所述氣體入口II(5)和氣體出口II(6)均連通入所述超聲噴霧器(10)內(nèi)；所述管路三通II(11)、氣體混合室I(12)、氣體入口III(21)依次連通，且氣體入口III(21)通過(guò)隔離減震器I(23)與所述掃描腔(17)連接，所述溫度及濕度感應(yīng)器I(15)連接于氣體混合室I(12)；所述氣體出口I(14)、氣體混合室II(13)、氣體出口III(22)依次連通，且氣體出口III(22)通過(guò)隔離減震器II(24)與所述掃描腔(17)連接，所述溫度及濕度感應(yīng)器II(16)連接于氣體混合室II(13)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低噪聲的樣品相對(duì)濕度連續(xù)可調(diào)的原子力顯微鏡，其特征是：所述掃描腔(17)為密封腔并通過(guò)氣體入口III(21)和氣體出口III(22)連通所述濕度控制器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低噪聲的樣品相對(duì)濕度連續(xù)可調(diào)的原子力顯微鏡，其特征是：所述隔離減震器I(23)、隔離減震器II(24)包括彈簧減震、磁阻尼減震、氣體減震等，能夠使通過(guò)氣路傳到原子力顯微鏡掃描腔(17)的機(jī)械噪聲減小。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低噪聲的樣品相對(duì)濕度連續(xù)可調(diào)的原子力顯微鏡，其特征是：所述冷卻器(9)主要包括一個(gè)導(dǎo)熱槽和兩個(gè)風(fēng)扇，能夠?yàn)槌晢卧?8)降溫，使?jié)駳饴窔怏w在通入超聲噴霧器(10)前后溫差更小，從而使樣品溫度更穩(wěn)定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低噪聲的樣品相對(duì)濕度連續(xù)可調(diào)的原子力顯微鏡，其特征是：根據(jù)具體的研究需要，氣體可以是氮?dú)狻⒀鯕狻鍤獾取?/p>

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低噪聲的樣品相對(duì)濕度連續(xù)可調(diào)的原子力顯微鏡，其特征是：根據(jù)具體的研究需要，所述超聲噴霧器(10)中液體可以是水、乙醇、甲醇等。