[發(fā)明專利]一種真空紫外光譜輻射計校準方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710125038.5
• 申請日: 2017-03-03
• 公開（公告）號: CN106885632B
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發(fā)明（設計）人: 孫廣尉;孫紅勝;王加朋;張玉國;吳柯萱;杜繼東;郭亞玭
• 申請（專利權）人: 北京振興計量測試研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28
• 代理公司: 北京天達知識產權代理事務所(普通合伙) 11386
• 代理人: 王濤;王一

1.一種真空紫外光譜輻射計校準裝置，其特征在于，所述裝置包括光譜輻射亮度響應度校準機構、光譜輻射照度響應度校準機構和波長準確度校準機構；

所述光譜輻射亮度響應度校準機構包括真空紫外光源(1)、真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)、真空紫外勻光系統(tǒng)(3)、標準輻射計(4)、被校真空紫外光譜輻射計(5)、切換轉臺(6)、綜合控制系統(tǒng)及軟件系統(tǒng)(7)和高真空度無油真空倉(8)，真空紫外光源(1)與真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)連接，置于高真空無油真空倉(8)外部，真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)與高真空無油真空倉(8)連接；真空紫外勻光系統(tǒng)(3)、標準輻射計(4)、被校真空紫外光譜輻射計(5)和切換轉臺(6)置于高真空無油真空倉(8)內部，真空紫外勻光系統(tǒng)(3)的入射端對準真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)的出射狹縫；標準輻射計(4)和被校真空紫外光譜輻射計(5)固定在切換轉臺(6)的上表面；紫外單色分光系統(tǒng)(2)的出射狹縫、真空紫外勻光系統(tǒng)(3)入射端、標準輻射計(4)及被校真空紫外光譜輻射計(5)的光軸高度一致；標準輻射計(4)、被校真空紫外光譜輻射計(5)及切換轉臺(6)通過高真空無油真空倉(8)上的真空轉換插頭與高真空無油真空倉(8)外部的綜合控制系統(tǒng)及軟件系統(tǒng)(7)進行電路連接；

所述光譜輻射照度響應度校準機構包括真空紫外光源(1)、被校真空紫外光譜輻射計(5)、切換轉臺(6)、綜合控制系統(tǒng)及軟件系統(tǒng)(7)和高真空度無油真空倉(8)，真空紫外光源(1)、被校真空紫外光譜輻射計(5)和切換轉臺(6)置于高真空度無油真空倉(8)的內部；真空紫外光源(1)固定在高真空無油真空倉(8)的一端；被校真空紫外光譜輻射計(5)固定在切換轉臺(6)的上表面；真空紫外光源(1)、被校真空紫外光譜輻射計(5)和切換轉臺(6)通過高真空無油真空倉(8)上的真空轉換插頭與高真空無油真空倉(8)外的光源控制器模塊和綜合控制系統(tǒng)及軟件系統(tǒng)(7)進行電路連接；

所述波長準確度校準機構包括真空紫外光源(1)、真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)、被校真空紫外光譜輻射計(5)、切換轉臺(6)、綜合控制系統(tǒng)及軟件系統(tǒng)(7)、高真空度無油真空倉(8)和真空紫外準直光學系統(tǒng)(9)，真空紫外光源(1)與真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)連接，置于高真空無油真空倉(8)外的一端，真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)與高真空無油真空倉(8)連接；被校真空紫外光譜輻射計(5)、切換轉臺(6)和真空紫外準直光學系統(tǒng)(9)置于高真空度無油真空倉(8)內部；真空紫外準直光學系統(tǒng)(9)位于靠近真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)的一端；被校真空紫外光譜輻射計(5)固定在切換轉臺(6)的上表面；紫外單色分光系統(tǒng)(2)的出射狹縫、真空紫外準直光學系統(tǒng)(9)及被校真空紫外光譜輻射計(5)的光軸高度一致；被校真空紫外光譜輻射計(5)、切換轉臺(6)通過高真空無油真空倉(8)上的真空轉換插頭與高真空無油真空倉(8)外的綜合控制系統(tǒng)及軟件系統(tǒng)(7)進行電路連接；

所述高真空度無油真空倉(8)用以為校準裝置提供模擬的真空環(huán)境，屏蔽外界的雜散光；所述高真空度無油真空倉(8)上有至少一個真空轉換插頭及真空法蘭接口。

2.根據權利要求1所述真空紫外光譜輻射計校準裝置，其特征在于，所述高真空無油真空倉(8)的長度為2米，內徑為1米；真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)通過真空法蘭接口與所述高真空無油真空倉(8)連接。

3.根據權利要求2所述真空紫外光譜輻射計校準裝置，其特征在于，所述真空紫外光源(1)包括：光源模塊和控制器模塊，所述光源模塊內部的氘燈燈芯能夠產生120～200nm波段的真空紫外波段光能量，其發(fā)光點直徑為1mm；所述控制器模塊對光源模塊進行供電，電流漂移0.05％。

4.根據權利要求2所述真空紫外光譜輻射計校準裝置，其特征在于，所述真空紫外單色分光系統(tǒng)(2)包括：真空紫外光柵、掃描旋轉機械機構、電機驅動控制機構和光路偏轉系統(tǒng)；其中真空紫光柵包括：光路折轉反射鏡、準直反射鏡、平面光柵、會聚反射鏡、入射狹縫和出射狹縫。