[發(fā)明專利]金屬污染防止方法及金屬污染防止裝置、以及使用了它們的基板處理方法及基板處理裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710124843.6 | 申請日： | 2017-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN107151799A | 公開（公告）日： | 2017-09-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 小池悟;田中惠一 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | C23G1/08 | 分類號： | C23G1/08;C23G3/00 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277 | 代理人： | 劉新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬 污染 防止 方法 裝置 以及 使用 它們 處理 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本申請基于2016年3月4日申請的日本專利申請第2016-042035號的優(yōu)先權(quán)利益，將該日本申請的全部內(nèi)容作為參考文獻編入于此。
本發(fā)明涉及金屬污染防止方法及金屬污染防止裝置、以及使用了它們的基板處理方法及基板處理裝置。
背景技術(shù)
一直以來，對于將臭氧氣體供給源與臭氧氣體使用裝置連接的臭氧氣體供給路徑來說，已知有使用了將接觸氣體面進行鈍化處理的不銹鋼制或鋁制的臭氧供給管和設(shè)備的臭氧供給路徑。
另外，已知有如下的不銹鋼構(gòu)件的表面處理方法：通過干式將不銹鋼構(gòu)件的表面鈍化時，在使用臭氧氣體的表面處理方法中，使用水分的露點為-10℃以下的非活性氣體作為在氧化處理爐的升溫過程中使用的氣體，并且將包含由氧化處理爐排出的未反應(yīng)臭氧的廢氣在臭氧產(chǎn)生裝置中作為原料氣體使其循環(huán)使用，從而減少氧氣消耗量和廢氣量。
將經(jīng)過上述鈍化處理的臭氧供給路徑用于基板處理裝置等時，將臭氧供給用的配管連接于處理室而供給臭氧，但是，在處理室內(nèi)開始基板處理之前，為了使臭氧供給路徑內(nèi)的鈍化膜穩(wěn)定，通常是不搬入基板而將臭氧供給至處理室，也就是進行熟化。這是為了防止自不銹鋼配管產(chǎn)生不銹鋼成分的金屬污染而進行的。上述鈍化膜大多由氧化鉻膜(CrO3)構(gòu)成。即，在使用不銹鋼作為臭氧供給配管時，利用包含氧化力強的硝酸的電解液進行電解拋光處理(EP處理，Electro Polishing)，使正離子化的不銹鋼在電解液中溶出，從而進行表面的平滑化。此時，在電解拋光中，鐵具有優(yōu)先于鉻溶出的性質(zhì)，因此，表層的鉻會引起富集的現(xiàn)象，其成為牢固的鈍化膜，耐腐蝕性顯著提高。
圖1為示出目前實施的將配管進行電解拋光處理時的一系列處理的圖。如圖1的(a)所示，準(zhǔn)備由不銹鋼形成的配管210、例如由SUS316L形成的配管210，如圖1的(b)所示，在含有硝酸的電解液230中進行電解拋光處理。如此，如圖1的(c)所示，在配管210的表面形成富集的氧化鉻膜(CrO3)，其作為鈍化膜220發(fā)揮作用。
上述熟化是以如下目的進行的：通過將臭氧這種強氧化氣體流通至不銹鋼配管210，將表面氧化，在不銹鋼表面生成牢固且穩(wěn)定的鈍化膜(氧化鉻膜)220，使其穩(wěn)定化，從而防止金屬污染，認為這種現(xiàn)象通常是在不銹鋼表面產(chǎn)生的。預(yù)先流通該臭氧氣體這種熟化中為了防止金屬污染而需要相應(yīng)的時間，但是通常認為該理由是與基于電解液的電解拋光相比，在臭氧氣體中的反應(yīng)較弱。
圖2為示出目前實施的熟化方法的一例的圖。如圖2的(a)所示，通過電解拋光處理，準(zhǔn)備在由不銹鋼形成的配管210的表面形成有由氧化鉻膜形成的鈍化膜220的配管210，如圖2的(b)所示，通過臭氧氣體的供給，鈍化膜(氧化鉻)220生長。進而，如圖2的(c)所示，通過繼續(xù)熟化，鈍化膜(氧化鉻)220進一步生長。如此，認為使由氧化鉻膜形成的鈍化膜220生長而穩(wěn)定化，從而防止金屬污染。
另外，對不銹鋼實施電解拋光處理的情況、以及利用硝酸溶液實施氧化鈍化處理的情況，由于是濕式處理，因此，表面含有水分，該水分與Nox和Cr反應(yīng)而產(chǎn)生Cr化合物，Cr化合物的去除需要利用長時間的臭氧氣體供給進行熟化，因此為了解決該情況，提出了如下臭氧產(chǎn)生裝置：使用利用干法進行了氧化鈍化覆膜處理的材料而構(gòu)成臭氧產(chǎn)生單元以及臭氧產(chǎn)生單元之后的臭氧氣體輸出通路，從而使Cr化合物的產(chǎn)生減少。
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題
然而，如上所述，在基板處理等中使用臭氧產(chǎn)生裝置時，需要將處理室與臭氧產(chǎn)生裝置連接的臭氧氣體供給配管。在上述臭氧產(chǎn)生裝置的構(gòu)成中，由于臭氧產(chǎn)生裝置內(nèi)的臭氧產(chǎn)生單元以及臭氧產(chǎn)生單元之后的非常短的臭氧氣體輸出通路為對象物，因此，可能通過使用利用干法進行了氧化鈍化覆膜處理的材料能夠使水分減少，但是，長的配管中，由于空氣中自然含有的水分的影響較大，因此，未必能夠大幅度減少熟化的時間。
另外，使用不銹鋼配管時，通常利用含有上述硝酸的電解液進行電解拋光處理，使用進行了與其不同的處理的配管會導(dǎo)致成本增加。因此，優(yōu)選的是，即使使用普通的不銹鋼配管的情況，也能夠降低熟化時間。
另一方面，已知有經(jīng)鈍化處理的不銹鋼制臭氧供給管以及不銹鋼構(gòu)件的表面處理方法，但是對于將它們實際用于基板處理等時的熟化處理等并沒有任何提及。
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