[發(fā)明專利]一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710124709.6
• 申請(qǐng)日: 2017-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106908155B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃耀清;郝成紅;葛堅(jiān)堅(jiān);郝得然;李穎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01J9/02
• 分類號(hào): G01J9/02
• 代理公司: 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

1.一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，包括：可替換光源組件、牛頓環(huán)儀、圖像傳感器、處理器；

所述牛頓環(huán)儀包括一平凸透鏡和平面透鏡，所述平凸透鏡的凸面與所述平面透鏡接觸；

所述可替換光源組件包括具有相同出光角度的標(biāo)準(zhǔn)光源和待測(cè)光源，且所述標(biāo)準(zhǔn)光源和待測(cè)光源的出光光軸都與所述牛頓環(huán)儀的中心軸重合，所述標(biāo)準(zhǔn)光源和待測(cè)光源的出光垂直入射所述牛頓環(huán)儀的平凸透鏡側(cè)；

所述圖像傳感器用于在所述標(biāo)準(zhǔn)光源和待測(cè)光源入射情況下檢測(cè)所述牛頓環(huán)儀的平面透鏡上的干涉環(huán)信息并發(fā)送至所述處理器；

所述處理器用于根據(jù)所述干涉環(huán)信息和該圖像傳感器的分辨率確定所述標(biāo)準(zhǔn)光源和待測(cè)光源的干涉環(huán)的半徑r_標(biāo)、r_測(cè)，再根據(jù)波長(zhǎng)計(jì)算公式(r_n″)²＝(n-1)k，計(jì)算所述待測(cè)光源的波長(zhǎng)相關(guān)系數(shù)k_測(cè)和標(biāo)準(zhǔn)光源的波長(zhǎng)相關(guān)系數(shù)k_標(biāo)，其中r″_n是圖像傳感器測(cè)得牛頓環(huán)半徑，n是干涉級(jí)數(shù)，b是傳感器放大倍數(shù)，和s和s′分別是牛頓環(huán)物距、像距，R是平凸透鏡的曲率半徑；

根據(jù)所述待測(cè)光源的波長(zhǎng)相關(guān)系數(shù)k_測(cè)和標(biāo)準(zhǔn)光源的波長(zhǎng)相關(guān)系數(shù)k_標(biāo)和標(biāo)準(zhǔn)光源的波長(zhǎng)λ_標(biāo)計(jì)算所述待測(cè)光源的波長(zhǎng)

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述干涉環(huán)信息包括像素半徑r″_標(biāo)、r″_測(cè)，所述處理器進(jìn)一步用于根據(jù)所述像素半徑r″_標(biāo)、r″_測(cè)和該圖像傳感器的分辨率δ確定所述干涉環(huán)的半徑：其中r_標(biāo)、r_測(cè)，為第n級(jí)干涉圓環(huán)半徑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述可替換光源組件包括光源安裝座和第一透鏡；所述標(biāo)準(zhǔn)光源或待測(cè)光源可拆卸地安裝于所述光源安裝座，使得所述標(biāo)準(zhǔn)光源或待測(cè)光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)所述第一透鏡折射后獲得與所述牛頓環(huán)儀中心軸平行的出射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述可替換光源組件包括第一透鏡、可翻轉(zhuǎn)反射鏡、所述標(biāo)準(zhǔn)光源、所述待測(cè)光源；

所述可翻轉(zhuǎn)反射鏡配置為翻轉(zhuǎn)到預(yù)設(shè)位置將所述標(biāo)準(zhǔn)光源或所述待測(cè)光源發(fā)出的光反射入所述第一透鏡，使得經(jīng)過(guò)所述第一透鏡折射后獲得與所述牛頓環(huán)儀中心軸平行的出射光。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)光源和所述待測(cè)光源相對(duì)于所述第一透鏡的主光軸對(duì)稱設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述可替換光源組件包括第一透鏡、棱鏡、所述標(biāo)準(zhǔn)光源、所述待測(cè)光源；

所述棱鏡配置為：

通過(guò)折射或全反射將所述標(biāo)準(zhǔn)光源發(fā)出的光反射入所述第一透鏡，使得經(jīng)過(guò)所述第一透鏡折射后獲得與所述牛頓環(huán)儀中心軸平行的出射光，或

通過(guò)折射或全反射將所述待測(cè)光源發(fā)出的光反射入所述第一透鏡，使得經(jīng)過(guò)所述第一透鏡折射后獲得與所述牛頓環(huán)儀中心軸平行的出射光。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述圖像傳感器包括電荷藕合器件圖像傳感器或互補(bǔ)性氧化金屬半導(dǎo)體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種波長(zhǎng)測(cè)量?jī)x，其特征在于，還包括第二透鏡；所述第二透鏡設(shè)于所述牛頓環(huán)儀與所述圖像傳感器之間，所述牛頓環(huán)的平行透鏡側(cè)的平行的出射光通過(guò)所述第二透鏡匯聚后入射所述圖像傳感器的探頭中。