[發明專利]熱絲承載架及金剛石薄膜沉積設備

有效

• 申請號: 201710124589.X
• 申請日: 2017-03-03
• 公開（公告）號: CN106884155B
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 唐永炳;張松全;王陶
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/458;C23C16/52
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種熱絲承載架，包括主架體以及安裝于主架體上的多根熱絲，其特征在于，所述熱絲承載架還包括若干支撐電極，所述主架體包括平行設置的兩個固定架以及多個連接件，多個所述連接件可拆卸地裝設于所述固定架上，并可沿著所述固定架的軸向延伸方向移動，所述支撐電極垂直連接至所述主架體，用以支撐所述熱絲承載架以及為所述熱絲供電，所述熱絲的相對兩端通過所述連接件連接至兩個所述固定架上使得所述熱絲的相對兩端沿著所述固定架的軸向延伸方向可滑動調節，以通過調整所述固定架上所述連接件的數量相應調整設置于所述主架體上安裝的熱絲的數量，并通過調節所述連接件的位置以相應調節設置于所述主架體上所述熱絲之間的間距，同時通過改變所述支撐電極的支撐高度以相應地調節所述熱絲與待加工樣品之間的間距。

2.如權利要求1所述的熱絲承載架，其特征在于，所述熱絲承載架通過拆卸或加裝所述固定架上的連接件，對應減少或增加所述主架體上安裝的熱絲的數量；所述熱絲承載架還通過滑動所述固定架上的連接件，對應帶動所述連接件上的熱絲移動而調節與其他熱絲之間的間距。

3.如權利要求1所述的熱絲承載架，其特征在于，每一所述固定架上分別開設一沿所述固定架的軸向延伸方向設置的滑槽，所述連接件可拆卸地裝設于該滑槽中，并可在該滑槽中沿著所述固定架的軸向滑動，以對應調節固定在被滑動連接件上的熱絲與其他熱絲之間的間距。

4.如權利要求1所述的熱絲承載架，其特征在于，所述熱絲承載架還包括多個彈性件，每一所述彈性件連接至一所述熱絲與相鄰的連接件之間，使每一所述熱絲的至少一端通過所述彈性件連接至所述連接件上，以通過所述彈性件拉緊相連接的熱絲。

5.如權利要求1-4任一項所述的熱絲承載架，其特征在于，至少一個所述固定架上的所述連接件用于連接所述熱絲的一端長度可調。

6.如權利要求1-4任一項所述的熱絲承載架，其特征在于，所述主架體還包括連接框以及連接至所述連接框的至少一連接臂，所述連接框與其中一固定架連接并圍成一加工面，另一固定架與所述連接臂連接并圍成一張緊面，所述張緊面與所述加工面形成一夾角，固定于兩個所述固定架上的熱絲抵持所述連接框成折線設置，所述熱絲對應分成平行所述張緊面的張緊段以及平行所述加工面的加工段。

7.一種金剛石薄膜沉積設備，其特征在于，包括如權利要求1-6任一項所述的熱絲承載架。

8.如權利要求7所述的金剛石薄膜沉積設備，其特征在于，所述金剛石薄膜沉積設備還包括樣品基臺，所述樣品基臺包括多個固定孔以及可拆卸裝設于所述固定孔中的夾具，所述夾具上設有夾持部，所述樣品基臺通過所述固定孔固定待加工的樣品，或者通過所述固定孔裝設所述夾具后，再通過所述夾具的夾持部固定待加工的樣品。

9.如權利要求8所述的金剛石薄膜沉積設備，其特征在于，所述樣品基臺與所述夾具均采用高導熱材料制成，所述夾持部為中空結構，且所述夾持部的內徑與所述固定孔的內徑尺寸不同。