[發明專利]一種P型PERC雙面太陽能電池及其制備方法

在審

• 申請號: 201710122711.X
• 申請日: 2017-03-03
• 公開（公告）號: CN106876495A
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 林綱正;方結彬;陳剛
• 申請（專利權）人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/054;H01L31/18
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司44104
• 代理人: 高文龍

1.一種P型PERC雙面太陽能電池，包括自下而上依次設置的背電極、背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正銀電極，所述的正銀電極由材料為銀的正銀主柵電極和材料為銀的正銀副柵電極組成，正銀副柵電極與正銀主柵電極相垂直，所述的背電極由材料為銀的背銀主柵電極和材料為鋁的背鋁副柵電極組成，背鋁副柵電極和背銀主柵電極相垂直，所述太陽能電池在背面還開設有開通所述背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜后直至P型硅的激光開槽區，激光開槽區內印刷灌注鋁漿料，形成背鋁條，背鋁副柵電極與激光開槽區內的背鋁條一體印刷成型，背鋁副柵電極通過背鋁條與P型硅相連，其特征在于：所述的背鋁副柵電極為兩層背鋁柵線疊加印刷形成的雙層結構，位于內層的背鋁柵線為內層背鋁柵線，位于外層的背鋁柵線為外層背鋁柵線。

2.如權利要求1所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述激光開槽區與背鋁副柵電極平行設置或垂直設置。

3.如權利要求1所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述內層背鋁柵線的寬度為30～500微米，高度為3～30微米。

4.如權利要求1所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述外層背鋁柵線的寬度為30～500微米，高度為1～30微米。

5.如權利要求1所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述背面氮化硅膜的厚度為20～500nm，所述背面氧化鋁膜的厚度為2～50nm。

6.如權利要求1所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述背銀主柵電極為連續直柵線或分段柵線，所述背鋁副柵電極的根數為30～500條。

7.如權利要求2所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述激光開槽區為多個，激光開槽區的圖案為線段式或直線式或點線式或圓點式。

8.如權利要求7所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述激光開槽區的寬度為10～500微米，相鄰激光開槽區之間的間距為0.5～50mm。

9.如權利要求1至8任一項所述的P型PERC雙面太陽能電池，其特征在于：所述背電極的外圍還印刷一圈材質為鋁的鋁柵外框，所述鋁柵外框分別與對應的背銀主柵電極和背鋁副柵電極相連接，所述的鋁柵外框用于給電子多提供一條傳輸路徑。

10.如權利要求1至9任一項所述的P型PERC雙面太陽能電池的制備方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

(1)在硅片正面和背面形成絨面，所述硅片為P型硅；

(2)在所述硅片正面進行擴散，形成N型硅，即N型發射極；

(3)去除擴散過程形成的磷硅玻璃和周邊PN結；

(4)對硅片背面進行拋光，形成高反射率的背表面；

(5)在硅片背面沉積背面氧化鋁膜；

(6)在氧化鋁膜的背面沉積背面氮化硅膜；

(7)在N型硅的正面沉積正面氮化硅膜；

(8)對硅片背面進行激光開槽，開通背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜后直至硅片，形成激光開槽區；

(9)在所述硅片背面采用絲網印刷來印刷背電極的背銀主柵電極；

(10)在所述硅片背面采用絲網印刷來印刷內層背鋁柵線，在印刷內層背鋁柵線的同時在激光開槽區內印刷鋁漿料，形成背鋁條，背鋁條與內層背鋁柵線一體印刷成型；

(11)在所述內層背鋁柵線的外表面采用絲網印刷來印刷外層背鋁柵線，外層背鋁柵線和內層背鋁柵線形成的兩層背鋁柵線為背電極的背鋁副柵電極；

(12)在所述正面氮化硅膜的正面采用絲網印刷或噴墨方式印刷正電極漿料；

(13)對硅片進行高溫燒結，形成背電極和正銀電極；

(14)對硅片進行抗LID退火處理，形成太陽能電池；

其中，步驟(4)也可以省去。