[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體工藝配方的管理系統(tǒng)和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710122313.8 | 申請日： | 2017-03-02 |
| 公開（公告）號： | CN106959674B | 公開（公告）日： | 2019-06-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周法福;徐冬;黃揚君;張立超 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/418 | 分類號： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龍;張磊 |
| 地址： | 100176 北京市大興*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 工藝 配方 管理 系統(tǒng) 方法 | ||
【說明書】：
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