[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201710120325.7
• 申請日: 2017-03-02
• 公開（公告）號: CN107186336B
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發明（設計）人: 相場健;相澤賢
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70;H01L21/268;H01L21/324
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

1.一種激光加工裝置，其特征在于，具有：

激光光源；

載物臺，其將加工對象物保持在從所述激光光源輸出的激光束入射的位置；

射束整形器，其配置在所述激光光源與保持于所述載物臺上的加工對象物之間的激光束的路徑上，并且對加工對象物表面上的射束截面進行整形；

透射率可變的衰減器，其配置在所述激光光源與保持于所述載物臺上的加工對象物之間的激光束的路徑上；

射束輪廓儀，其測量保持在所述載物臺上的加工對象物表面位置上的激光束的光強度分布；

激光強度測量儀，其測量入射于保持在所述載物臺上的加工對象物的激光束的強度；及

控制裝置，其根據所述射束輪廓儀的測量結果及所述激光強度測量儀的測量結果，調整所述衰減器的透射率；

所述控制裝置根據由所述射束輪廓儀測量出的光強度分布中的光強度為強度閾值以上的部分與整個光強度分布之間的關系，調整所述衰減器的透射率。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述控制裝置根據由所述射束輪廓儀測量出的光強度分布中的光強度為強度閾值以上的部分的光強度的積分值與整個光強度分布的積分值之比即有效功率比的測量值，調整所述衰減器的透射率。

3.根據權利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，

在所述控制裝置中存儲有所述有效功率比的標準值，

所述控制裝置根據所述有效功率比的標準值與測量值之比以及測量時的所述衰減器的透射率，計算出所述衰減器的透射率的調整值，

并且調整所述衰減器的透射率以使透射率成為所述調整值。

4.根據權利要求2或3所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述射束整形器使保持在所述載物臺上的加工對象物表面上的射束截面形狀成為在單方向上較長的形狀，

所述控制裝置將射束截面的寬度方向上的光強度分布用作由所述射束輪廓儀測量出的光強度分布。

5.一種激光加工裝置，其特征在于，具有：

激光光源；

載物臺，其將加工對象物保持在從所述激光光源輸出的激光束入射的位置；

射束整形器，其配置在所述激光光源與保持于所述載物臺上的加工對象物之間的激光束的路徑上，并且對加工對象物表面上的射束截面進行整形；

透射率可變的衰減器，其配置在所述激光光源與保持于所述載物臺上的加工對象物之間的激光束的路徑上；

射束輪廓儀，其測量保持在所述載物臺上的加工對象物表面位置上的激光束的光強度分布；及

控制裝置，其根據所述射束輪廓儀的測量結果，求出射束截面的面積并將其設為面積的測量值，并且根據射束截面的面積的測量值，調整所述衰減器的透射率。

6.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述激光加工裝置還具有激光強度測量儀，所述激光強度測量儀測量入射于保持在所述載物臺上的加工對象物的激光束的強度，

所述控制裝置根據所述射束截面的面積的測量值以及所述激光強度測量儀的激光束的強度的測量值，調整所述衰減器的透射率。

7.根據權利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述控制裝置根據所述激光束的強度的測量值及所述射束截面的面積的測量值，求出脈沖能量密度并將其設為脈沖能量密度的測量值，并且調整所述衰減器的透射率以使脈沖能量密度的測量值與脈沖能量密度的目標值一致。

8.根據權利要求7所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述激光光源包括激光二極管，

在即使將所述衰減器的透射率設定為該衰減器的最大額定值脈沖激光束的脈沖能量密度仍小于目標值的情況下，所述控制裝置使施加于所述激光光源的驅動電流增加。