[發明專利]氣體檢測裝置以及氫檢測方法

有效

• 申請號: 201710117218.9
• 申請日: 2017-03-01
• 公開（公告）號: CN107315033B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 村岡俊作;藤井覺;本間運也;魏志強
• 申請（專利權）人: 新唐科技日本株式會社
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 陳建全

1.一種氣體檢測裝置，其具備：測定電路，該測定電路具備包含被絕緣膜覆蓋的多個檢測單元的氣體傳感器和對所述多個檢測單元的多個電阻值進行監測的至少一個測定器；以及判定電路，該判定電路根據所述多個電阻值之中的至少一個的變化來判定是否檢測到了含有氫原子的氣體，

其中，所述多個檢測單元各自具備第一電極、第二電極和金屬氧化物層，

所述第二電極具有從所述絕緣膜露出了的露出面，

所述金屬氧化物層配置在所述第一電極與所述第二電極之間，并且包含主體區域和被所述主體區域包圍且具有比所述主體區域大的氧不足度的局部區域，

所述局部區域以與所述第二電極接觸的方式配置，并且不與所述第一電極接觸，

所述檢測單元的電阻值在所述氣體與所述第二電極接觸時降低，

金屬氧化物的氧不足度是指該金屬氧化物中的氧不足量相對于由與該金屬氧化物相同的元素構成的化學計量學組成的氧化物中的氧量的比例，氧不足量是指由化學計量學組成的金屬氧化物中的氧量減去該金屬氧化物中的氧量而得到的值。

2.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其中，所述多個檢測單元以大致相同尺寸具有大致相同結構。

3.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其中，所述多個檢測單元為N個檢測單元，N為2以上的整數，

所述判定電路在所述N個檢測單元之中M個的所述電阻值降低了時判定為檢測到所述氣體，M為1以上且低于N的整數。

4.根據權利要求3所述的氣體檢測裝置，其中，所述M為2以上的整數。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的氣體檢測裝置，其中，所述至少一個測定器為多個測定器，

所述多個測定器同時監測所述多個檢測單元的各電阻值。

6.根據權利要求5所述的氣體檢測裝置，其中，所述多個測定器為多個電流測定器，

所述多個電流測定器各自與所述多個檢測單元之中對應的一個檢測單元串聯，并且監測在所述對應的一個檢測單元中流通的電流值。

7.根據權利要求6所述的氣體檢測裝置，其還具備電源電路，該電源電路向所述測定電路施加電壓，由此在所述多個檢測單元各自中流通電流。

8.根據權利要求1～4中任一項所述的氣體檢測裝置，其中，所述至少一個測定器為一個測定器，

所述一個測定器監測所述多個檢測單元的合成電阻值。

9.根據權利要求8所述的氣體檢測裝置，其中，所述多個檢測單元并聯。

10.根據權利要求8所述的氣體檢測裝置，其中，所述一個測定器為一個電流測定器，

所述一個電流測定器監測在所述多個檢測單元中流通的電流的合成電流值。

11.根據權利要求10所述的氣體檢測裝置，其還具備電源電路，該電源電路向所述測定電路施加電壓，由此在所述多個檢測單元各自中流通電流。

12.根據權利要求1～4中任一項所述的氣體檢測裝置，其中，所述露出面以所述氣體能夠接觸的方式來構成。