[發明專利]膜厚檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 201710115068.8
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN107063069A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 姜利;林永輝;祁秀梅;孫明豐
• 申請（專利權）人: 威海華菱光電股份有限公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 韓建偉,張永明

1.一種膜厚檢測裝置，其特征在于，包括：公共電極，檢測電極，公共電極電壓產生電路，檢測電極信號處理電路，所述公共電極與所述檢測電極在第一方向上相對且間隔設置，所述公共電極的第一公共面與所述檢測電極的第一檢測表面相對，所述第一公共面與所述第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道，其中，

公共電極電壓產生電路，用于在所述公共電極上產生電壓，使得所述檢測電極上感應出有效信號電壓；

檢測電極信號處理電路包括：復位電壓時序控制電路，檢測電極有效信號電壓轉送時序控制電路和差分放大器，其中，所述復位電壓時序控制電路，用于控制所述檢測電極進行電壓復位；所述檢測電極有效信號電壓轉送時序控制電路，用于轉送所述檢測電極上的有效信號電壓；所述差分放大器，用于對所述檢測電極上的復位電壓和所述有效信號電壓進行差分放大后輸出用于檢測所述待測膜的有效信號。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極電壓時序控制電路，其中，所述公共電極電壓時序控制電路，用于產生控制信號，所述控制信號用于控制所述公共電極電壓產生電路加到所述公共電極上的電壓幅度和寬度適合預定信號的檢測。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測電極信號處理電路還包括：檢測電極復位電壓轉送時序控制電路，用于在所述檢測電極進行電壓復位后，轉送所述檢測電極上的復位電壓。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測電極信號處理電路還包括：移位時序控制電路，用于將檢測電極上的所述復位電壓和所述有效信號電壓傳輸到所述差分放大器的兩個輸入端。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極基板和檢測電極基板，其中，

所述公共電極設置在所述公共電極基板的第一表面上，所述公共電極基板的第一表面與所述第一方向垂直，所述公共電極電壓產生電路設置在所述公共電極基板的第二表面；

所述檢測電極基板與所述公共電極基板在所述第一方向上間隔設置，所述檢測電極基板的第一表面朝向所述公共電極基板的第一表面，并且與所述公共電極基板的第一表面平行，所述檢測電極設置在所述檢測電極基板的第一表面上，所述檢測電極信號處理電路設置在所述檢測電極基板的第二表面上。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極框體和檢測電極框體，其中，所述公共電極基板設置在所述公共電極框體上；所述檢測電極框體與所述公共電極框體在所述第一方向上間隔設置，所述檢測電極基板設置在所述檢測電極框體上。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極保護層和檢測電極保護層，其中，所述公共電極保護層設置在所述公共電極表面上；所述檢測電極保護層設置在所述檢測電極表面上。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：公共電極導電薄膜與檢測電極導電薄膜，其中，所述公共電極導電薄膜設置在所述公共電極與所述公共電極保護層之間；所述檢測電極導電薄膜設置在所述檢測電極與所述檢測電極保護層之間。

9.根據權利要求1至8所述的裝置，其特征在于，所述檢測電極為多個，所述多個檢測電極沿第二方向間隔設置，其中，所述第二方向與所述待測膜的移動方向垂直，與所述第一方向垂直。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述檢測電極為電極芯片，或者，所述檢測電極為感應電荷的傳感器。

11.一種膜厚檢測方法，其特征在于，包括：

公共電極電壓產生電路在公共電極上產生電壓，使得檢測電極上感應出有效信號電壓，其中，所述公共電極與所述檢測電極在第一方向上相對且間隔設置，所述公共電極的第一公共面與所述檢測電極的第一檢測表面相對，所述第一公共面與所述第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道；

檢測電極信號處理電路中的所述復位電壓時序控制電路控制所述檢測電極進行電壓復位；

所述檢測電極信號處理電路中的所述檢測電極有效信號電壓轉送時序控制電路，轉送所述檢測電極上的有效信號電壓；

所述檢測電極信號處理電路中的所述差分放大器，用于對所述檢測電極上的復位電壓和所述有效信號電壓進行差分放大后輸出用于檢測所述待測膜的有效信號。

12.根據權利要求11所述的方法，其特征在于，在所述檢測電極為多個的情況下，

在檢測電極復位電壓轉送時序的下降沿傳輸每個檢測電極上的復位電壓時，復位電壓時序控制電路控制復位電壓對每個檢測電極進行復位；

在檢測電極有效信號電壓轉送時序的下降沿傳輸每個檢測電極的有效信號電壓時，公共電極電壓時序控制電路的控制信號控制公共電極電壓產生電路對所述公共電極上施加電壓。