[發明專利]照明裝置以及檢查裝置

在審

• 申請號: 201710111359.X
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN107132231A
• 公開（公告）日: 2017-09-05
• 發明（設計）人: 茂野幸英
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/956;F21V5/04;F21V7/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司72003
• 代理人: 向勇,董雅會

技術領域

本發明涉及照明裝置以及具有該照明裝置的檢查裝置。

背景技術

公知有對印刷基板等各種基板的外觀進行檢查的技術(例如，專利文獻1～5等)。在該技術中，例如，針對形成有焊接部以及金屬的布線圖案等各種結構的基板，通過拍攝傳感器等進行拍攝來得到圖像，借助以該圖像為對象的圖像處理，來自動檢測出各種結構的狀態以及缺陷等。

其中，在通常的印刷基板等中，有時在金屬的布線圖案的表面存在多個輥軋痕等凸凹結構。此時，例如，在采用從正面對檢查的對象區域(還稱為檢查對象區域)照射光的落射照明(直接照明)方式時，例如，表面的凹凸結構有時會被拍攝為具有過強的對比度的部分。此時，僅通過圖像處理很難區分具有過強的對比度的部分和其以外的部分，不易于可靠地從圖像檢測出缺陷等。

因此，提出有對所謂的擴散照明加以利用的技術(例如，專利文獻1等)，擴散照明是指：通過半球狀的穹頂的內表面對來自光源的光進行反射，來照射檢查對象區域，由此擴大照射至檢查對象區域的光的角度范圍(是指照射角度范圍和照射立體角)。由此，能夠抑制在圖像中凹凸結構被拍攝為具有過強的對比度的部分的缺陷。

另一方面，若檢查對象區域為輥軋痕等凹凸結構少的鏡面狀，則在通過擴散照明照射光時，檢查對象區域被拍攝為非常暗的區域。因此，例如考慮在利用半球狀的穹頂的擴散照明中組合落射照明而形成照明方式(例如，專利文獻2等)。例如，能夠采用如下的照明方式(還稱為同軸落射照明)：通過半透半反鏡，使具有以設置在拍攝傳感器上的拍攝透鏡的光軸為中心軸的光束的光照射檢查對象區域。

專利文獻1：日本特開2004-125644號公報

專利文獻2：日本特開平11-84258號公報

專利文獻3：日本特開平8-29138號公報

專利文獻4：日本特開2000-266681號公報

專利文獻5：日本特開2011-69651號公報

其中，例如，在專利文獻1的技術中，由半球狀的穹頂的內表面反射的光大致均勻地照射圓形的大面積的區域。因此，例如，在使用線性傳感器以及矩形狀的區域傳感器等時，還向不被傳感器拍攝的區域照射光，這樣使光的利用效率降低。

另外，例如，在專利文獻2的技術中，由于存在同軸落射照明用的半透半反鏡，所以降低了從檢查對象區域至拍攝傳感器的光的強度，光的利用效率降低。

另外，例如，在專利文獻3的技術中，在半球面形狀的框架上設置藍色LED，對被檢查物的所有反射面照射照射光。因此，例如，需要配置多個藍色LED，由于藍色LED的配置數量的增加，所以使制造檢查裝置所需的材料以及成本增大，并且使檢查裝置中能量消耗量增大。

另外，例如，在專利文獻4的技術中，光引導部的光出射面形成為包圍被檢查物的線狀照射區域的大致半圓筒面。因此，例如，使包括光源的照明裝置過度大型化。尤其，例如，在一邊使拍攝元件與光源一起進行掃描一邊進行拍攝的方式中，產生照明裝置大型化以及掃描各種結構所需的能量消耗量增大等缺陷。

另外，例如，在專利文獻5的技術中，僅通過擴散照明進行照明而不進行落射照明。因此，若檢查對象區域為輥軋痕等凹凸結構少的鏡面狀，則為了明亮地拍攝檢查對象區域，需要增大發光量，從而產生照明裝置的能量消耗量增大等的缺陷。

即，在上述專利文獻1～5的檢查技術中，例如，具有一邊抑制消耗能量增大一邊以簡單的結構改善光的利用效率的余地。這樣的問題不限于檢查裝置，在向所希望的區域照射光的技術中通常都存在。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠易于提高對象物的單位面積的光的照射強度的技術。

為了解決上述問題，第一方式的照明裝置具有：具有：出射部列，具有多個出射部，多個所述出射部沿著預先設定的排列方向排列且分別向預先設定的出射方向出射光，以及反射部，具有以向與所述排列方向交叉的交叉方向觀察與所述排列方向正交的方式配置且能夠反射光的反射面；多個所述出射部包括出射同種光的2個以上的出射部，2個以上的所述出射部包括從距離所述反射面近的位置開始依次排列的第一個出射部和第二個出射部，向所述交叉方向觀察，所述反射面與所述第一個出射部之間的第一間隔為所述第一個出射部與所述第二個出射部之間的第二間隔的一半以下。