[發明專利]薄透明介質性質非接觸測量儀

在審

• 申請號: 201710111251.0
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN106645031A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 賈桂昊
• 申請（專利權）人: 賈桂昊
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45;G01B11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種以邁克爾遜干涉儀為主體的測量儀，包括激光源、半反半透鏡、第一平面鏡、第二平面鏡、步進電機、小齒輪、大齒輪、數字成像板、光強探測器、第一垂直插槽、第二垂直插槽、減震隔離板、處理器和顯示屏，其特征是步進電機驅動小齒輪，小齒輪帶動大齒輪，激光出射口安放有中央帶孔的數字成像板，光路經過第一垂直插槽上方，經過半反半透鏡，之后分束，一路透射光、一路反射光：其中一路經過連接在大齒輪上的第二垂直插槽上方，遇第一平面鏡反射后原路返回，經過第二垂直插槽上方，透過半反半透鏡成像在光強探測器中央；另一路遇第二平面鏡后反射原路返回，由半反半透鏡反射成像在光強探測器中央，處理器連接步進電機、光強探測器、數字成像板和顯示屏進行信息傳輸，減震隔離板將步進電機與其他光學元件隔開。

2.一種如權利要求1所述的測量儀，其特征是第一垂直插槽垂直于光路，第二垂直插槽固定連接大齒輪，第一垂直插槽和第二垂直插槽內表面涂有緩沖物防止劃傷表面，且穩定夾住待測物。

3.一種如權利要求2所述的測量儀，其特征是由步進電機、大齒輪和小齒輪組成的系統轉動勻速、穩定，且步進電機的步進角小于0.01°，步進電機驅動小齒輪帶動大齒輪轉動，以保持轉動穩定。

4.一種如權利要求1所述的測量儀，其特征是減震隔離板將步進電機與光學元件隔離，防止步進電機的震動對光學元件造成干擾。