[發明專利]一種陣列基板及其制備方法、顯示面板及顯示裝置

在審

• 申請號: 201710111183.8
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN106876330A
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 金慧俊;張敏
• 申請（專利權）人: 上海中航光電子有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司11444
• 代理人: 王剛,龔敏

【技術領域】

本發明涉及觸控技術領域，尤其涉及一種陣列基板及其制備方法、顯示面板及顯示裝置。

【背景技術】

隨著觸控技術領域的發展，具有觸控功能的顯示面板已經越來越成為主流顯示產品。現有的顯示面板和觸控面板的集成方式一般分為in-cell(內嵌式)和on-cell(盒外式)兩種方式，in-cell觸摸屏相較于on-cell觸摸屏來說更為輕薄。目前，現有技術的in-cell觸摸屏的陣列基板至少包括柵極金屬層、半導體層、源漏極金屬層、第一氮化硅層、像素電極、觸控金屬層、第二氮化硅層和公共電極。

發明人發現現有技術中至少存在如下問題：

現有技術中陣列基板的制備過程中，在形成上述柵極金屬層、半導體層、源漏極金屬層、第一絕緣層、像素電極、觸控金屬層、第二絕緣層和公共電極時，每層均需要使用單獨的掩膜版通過相應的構圖工藝來制作，工藝流程較為復雜，需要使用數量較多的掩膜版，生產成本高。

【發明內容】

有鑒于此，本發明實施例提供了一種陣列基板及其制備方法、顯示面板及顯示裝置，能夠減少掩膜版的使用數量，簡化陣列基板的制作過程。

一方面，本發明實施例提供了一種陣列基板，包括：

襯底基板；

位于所述襯底基板上的第一金屬層，所述第一金屬層包括柵極和柵線；

位于所述第一金屬層上的有源層；

位于所述柵極和柵線所在膜層上的像素電極；

位于所述有源層和所述像素電極上的第二金屬層，所述第二金屬層包括漏極、源極和數據線，其中，所述漏極與所述像素電極電性連接；

位于所述第二金屬層上的公共電極層，所述公共電極層包括多個以陣列方式設置的公共電極塊，所述公共電極塊復用為觸控電極；所述陣列基板還包括：

觸控走線，位于所述第二金屬層；所述觸控走線與所述漏極、源極、數據線和像素電極電性絕緣，且通過過孔與所述公共電極層的公共電極塊電性連接。

具體地，所述陣列基板還包括：

第一絕緣層，位于所述第一金屬層和所述有源層之間。

具體地，所述陣列基板還包括：

第二絕緣層，位于所述公共電極層和所述第二金屬層之間；所述第二絕緣層上設有過孔。

具體地，所述漏極與所述像素電極直接電性連接。

具體地，所述觸控走線與所述數據線相鄰設置，且所述觸控走線與所述數據線平行。

另一方面，本發明實施例提供了一種顯示面板，包括：上述的陣列基板。

另一方面，本發明實施例提供了一種顯示裝置，包括：上述的顯示面板。

另一方面，本發明實施例提供了一種陣列基板的制作方法，包括：

在襯底基板形成第一金屬層，所述第一金屬層包括柵極和柵線；

在所述第一金屬層上形成有源層；

在所述柵極和柵線所在膜層上形成像素電極；，

在所述有源層和所述像素電極上形成第二金屬層和觸控走線，其中，所述第二金屬層以及包括所述漏極、源極和數據線所在的第二金屬層，其中，所述漏極與所述像素電極電性連接；

形成覆蓋第二金屬層的第二絕緣層，在所述第二絕緣層上形成過孔；在所述第二金屬層上形成公共電極層，其中，所述公共電極層包括多個以陣列方式設置的公共電極塊，所述公共電極塊復用為觸控電極，所述公共電極塊通過所述過孔與所述觸控走線電性連接。

具體地，所述方法還包括：

在所述第一金屬層和所述有源層之間形成第一絕緣層。

具體地，所述方法還包括：

在所述公共電極層和所述第二金屬層之間形成第二絕緣層，并在所述第二絕緣層上形成過孔。

具體地，所述漏極與所述像素電極直接電性連接。

具體地，所述觸控走線與所述數據線相鄰設置，且所述觸控走線與所述數據線平行。

上述技術方案中的一個技術方案具有如下有益效果：

本發明實施例提供了一種陣列基板及其制備方法、顯示面板及顯示裝置，通過將漏極、源極、數據線和觸控走線同層設置，避免單獨設置觸控走線所在膜層，故無需使用單獨的掩膜版并通過相應的構圖工藝來制作觸控走線層，能夠簡化陣列基板的制作過程，降低工藝流程復雜程度，減少掩膜版使用數量，生產成本低。

【附圖說明】