[發(fā)明專利]高分子薄膜極化裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710110244.9
• 申請(qǐng)日: 2017-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106848053B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王開(kāi)安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 奧昱新材料技術(shù)（嘉興）有限公司
• 主分類號(hào): H01L41/257
• 分類號(hào): H01L41/257
• 代理公司: 北京漢之知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11479
• 代理人: 王立紅

本發(fā)明提供一種高分子薄膜極化裝置，用于極化高分子薄膜，高分子薄膜極化裝置包括電場(chǎng)組件和物品承載臺(tái)；物品承載臺(tái)用于承載待極化高分子薄膜，所述物品承載臺(tái)接地并使該待極化高分子薄膜的第一表面電勢(shì)為零；該電場(chǎng)組件包括一高壓電極端和一低壓電極端；該高壓電極端電勢(shì)比低壓電極端電勢(shì)高；該物品承載臺(tái)上方的環(huán)境氣體可被高壓電極端電離并在該電場(chǎng)組件形成的電場(chǎng)下移動(dòng)并聚集在待極化高分子薄膜第二表面，使待極化高分子薄膜內(nèi)形成沿所述薄膜厚度方向的膜內(nèi)電場(chǎng)，對(duì)高分子薄膜進(jìn)行極化。該高分子薄膜極化裝置能避免高分子薄膜被擊穿，有效提高極化膜的生產(chǎn)合格率，可以實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)；且制得的極化膜具有較強(qiáng)的壓電效應(yīng)和較長(zhǎng)的使用壽命。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及薄膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高分子薄膜極化裝置。

【背景技術(shù)】

極化是薄膜材料處理中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，主要目的是使薄膜材料中雜亂取向的分子偶極矩沿著特定方向(如極化電場(chǎng)方向)一致取向，從而使該薄膜材料具有壓電性能。

薄膜極化通常直接將薄膜材料置于電極之間，利用電極產(chǎn)生的高壓電場(chǎng)完成極化，這種方法非常容易將薄膜材料擊穿。特別有些高分子薄膜材料是直接形成在電子器件表面，在高壓電場(chǎng)直接極化還容易因?yàn)楸∧げ牧蠐舸┒鴮?dǎo)致整個(gè)電子器件的損壞，所以成本昂貴。而且由于整個(gè)極化方法生產(chǎn)合格率較低，基本不能大規(guī)模生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

為克服現(xiàn)有薄膜極化生產(chǎn)合格率較低的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種高分子薄膜極化裝置。

本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題的一技術(shù)方案是提供一種高分子薄膜極化裝置，用于極化高分子薄膜，所述高分子薄膜極化裝置包括電場(chǎng)組件、物品承載臺(tái)和電流感測(cè)器；所述物品承載臺(tái)用于承載待極化高分子薄膜，該待極化高分子薄膜包括靠近所述物品承載臺(tái)的第一表面和遠(yuǎn)離所述物品承載臺(tái)的第二表面，所述物品承載臺(tái)接地并使該待極化高分子薄膜的第一表面電勢(shì)為零；該電場(chǎng)組件包括一高壓電極端和一低壓電極端，所述高壓電極端位于物品承載臺(tái)上方，所述低壓電極端位于高壓電極端跟待物品承載臺(tái)之間；該高壓電極端電勢(shì)比低壓電極端電勢(shì)高；該物品承載臺(tái)上方的環(huán)境氣體可被高壓電極端電離并在該電場(chǎng)組件形成的電場(chǎng)下移動(dòng)并聚集在所述待極化高分子薄膜第二表面，使所述待極化高分子薄膜內(nèi)形成沿所述薄膜厚度方向的膜內(nèi)電場(chǎng)，對(duì)高分子薄膜進(jìn)行極化；所述電流感測(cè)器與所述待極化高分子薄膜相連，用于測(cè)量所述待極化高分子薄膜的薄膜電流，并根據(jù)所述薄膜電流與極化時(shí)間的斜率確定極化終點(diǎn)。

優(yōu)選地，所述高分子薄膜極化裝置進(jìn)一步包括控制器，所述控制器用于控制所述高壓電極端、低壓電極端、物品承載臺(tái)三者之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述控制器包括第一控制器，所述第一控制器用于控制所述高壓電極端在其所在平面內(nèi)移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述控制器包括第二控制器，所述第二控制器用于所述物品承載臺(tái)在其所在平面內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選地，所述物品承載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)速率小于等于10r/min。

優(yōu)選地，所述物品承載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)速率小于等于0.5-2r/min。

優(yōu)選地，所述物品承載臺(tái)的旋轉(zhuǎn)速率小于等于1r/min。

優(yōu)選地，進(jìn)一步包括控制器，所述控制器用于控制所述高壓電極端、低壓電極端及物品承載臺(tái)三者中其一或其二或全部進(jìn)行位移或旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選地，所述高壓電極端包括陣列狀針狀電極或線狀電極。

優(yōu)選地，所述高壓電極端采用陣列狀針狀電極時(shí)，所述陣列狀針狀電極與所述低壓電極端所在平面之間所形成的角度為75-90°。

優(yōu)選地，所述高壓電極端采用陣列線狀電極時(shí)，所述線狀電極與所述低壓電極端所在平面平行，或所述線狀電極與所述低壓電極端所在平面之間所形成的角度小于等于15°。

優(yōu)選地，所述低壓電極端為柵格電極端或具有貫穿部的平板電極端。