[發明專利]帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構

有效

• 申請號: 201710108700.6
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN106835059B
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 劉忠興
• 申請（專利權）人: 江陰市中興光電實業有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

1.一種帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構，包括轉筒傳動機構、定軸、繞定軸轉動的轉筒、罩體以及可固定在鍍膜機頂部的環形底盤，所述傳動機構主要包括一個驅動齒輪，所述罩體固定在底盤上，其特征在于：所述轉筒和定軸穿過環形底盤伸入鍍膜機的真空鍍膜腔，所述定軸的上端部固定在罩體的頂部，所述轉筒的外周面上固定設置一個減速齒輪，所述驅動齒輪由外部電機帶動轉動，驅動齒輪與減速齒輪嚙合從而驅動減速齒輪轉動，進一步帶動轉筒轉動，所述環形底盤上方設置一個軸向支撐轉筒的推力球軸承，所述罩體的內壁與轉筒外周面之間還設置防止轉筒徑向偏移的球軸承，轉筒下端固定設置一個傳動齒輪和一個旋轉板，旋轉板設置多個膜片行星盤機構，所述行星盤機構包括自轉軸以及對自轉軸進行徑向和軸向支撐的支撐部件，支撐部件安裝在旋轉板上，所述自轉軸上端固定設有與自轉軸同軸心的從動齒輪，從動齒輪可與傳動齒輪嚙合帶動自轉軸的自轉，自轉軸的下端設置錐形主動齒輪，旋轉板下端與支撐部件對應位置固定設置一個連接上座，連接上座上固定設置一個與自轉軸垂直的橫軸，橫軸上同軸心設置有與錐形主動齒輪嚙合的錐形傳動齒輪，連接上座連接一個連接下座，連接下座可繞橫軸相對連接上座轉動，連接下座上設置與橫軸垂直的從動軸以及支撐從動軸的支撐部件，從動軸的上端設置與錘形傳動齒輪相配合的錘形從動齒輪，錘形從動齒輪帶動從動軸的轉動，從動軸的下端用于安裝工件架裝載基片。

2.根據權利要求1所述的帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構，其特征在于：所述推力球軸承包括座圈、軸圈和鋼球保持架組成，軸圈與減速齒輪或者轉筒固定，座圈固定在環形底盤上。

3.根據權利要求1或者2所述的帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構，其特征在于：所述罩體靠近環形底盤的端部與推力球軸承對應位置設置環形空腔用于注入冷卻水，罩體在環形空腔處設置注水孔和出水孔用于水循環。

4.根據權利要求1或者2所述的帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構，其特征在于：所述球軸承設置在罩體頂部，罩體頂部設置冷卻水循環網路用于給球軸承降溫。

5.根據權利要求1所述的帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構，其特征在于：還包括一個磁流體密封裝置，磁流體密封裝置一端連接驅動電機，另一端伸入鍍膜機真空腔連接驅動齒輪。

6.根據權利要求1所述的帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構，其特征在于：所述定軸為中部結構，設置貫穿定軸的用于測量基片鍍膜厚度的晶控探頭。

7.根據權利要求2所述的帶角度可調行星盤的鍍膜機膜片轉動機構，其特征在于：所述球軸承和推力球軸承上涂抹有耐高溫的潤滑脂。