[發明專利]一種分辨率可調的微量氣體流量計

在審

• 申請號: 201710108641.2
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN106768099A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 嚴建中;張啟華;鄭成志
• 申請（專利權）人: 湖北洛克泰克儀器有限公司
• 主分類號: G01F1/52
• 分類號: G01F1/52;G01F1/66
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司11228
• 代理人: 張濤,張瑾

1.一種分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：包括電磁閥體(3)、U型管體(7)和微機，所述U型管體(7)內裝有不溶解待測氣體的溶液，所述電磁閥體(3)上設有電磁閥進氣口(2)、電磁閥出氣口(4)和電磁閥排氣口(13)，所述電磁閥出氣口(4)通過導管(5)與U型管體進氣口(6)連接，所述U型管體進氣口(6)端側壁上設置有液面檢測機構，所述液面檢測機構位于U型管體(7)內溶液初始液面下方，所述U型管體出氣口(19)端側壁上設置有氣泡計量機構，所述U型管體(7)底端內部設置有氣泡產生口(14)，所述電磁閥體(3)、液面檢測機構和氣泡計量器均與微機電連接。

2.如權利要求1所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：還包括氣體緩沖室(1)，所述氣體緩沖室(1)的出氣口連接電磁閥進氣口(2)。

3.如權利要求1所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述液面檢測機構為相對設置在U型管體(7)側壁上的第二光發生器(11)和第二光接收器(12)；所述氣泡計量機構為相對設置在U型管體(7)側壁上的第三光發生器(17)和第三光接收器(18)，所述第二光接收器(12)和第三光接收器(18)與微機電連接。

4.如權利要求3所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述U型管體(7)內溶液初始液面處設置有第一光發生器(9)和第一光接收器(10)，所述第一光接收器(10)與微機電連接。

5.如權利要求4所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述第二光發生器(11)發射的光信號發生改變時，第二光接收器(12)計量一個脈沖并將信號傳輸至微機，微機控制電磁閥出氣口(4)關閉，打開電磁閥排氣口(13)；

所述第一光發生器(9)發射的光信號發生改變時，第一光接收器(10)計量一個脈沖并將信號傳輸至微機，微機控制電磁閥排氣口(13)關閉，電磁閥出氣口(4)開啟。

6.如權利要求1所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述U型管體進氣口(6)和U型管體出氣口(19)的口徑小于U型管體(7)的管徑。

7.如權利要求1所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述氣泡產生口(14)設置在U型管體(7)底端靠近U型管體出氣口(19)的一端，且氣泡產生口(14)的口徑沿氣體運動方向逐漸減小。

8.如權利要求7所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述氣泡產生口(14)產生的氣泡體積為0.03～1ml。

9.如權利要求1所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述U型管體進氣口(6)處設置有壓力溫度傳感器(8)，該壓力溫度傳感器(8)與微機電連接。

10.如權利要求1所述的分辨率可調的微量氣體流量計，其特征在于：所述U型管體(7)底部設置有支撐座(15)。