[發明專利]快門單元、光刻裝置及物品的制造方法

有效

• 申請號: 201710107214.2
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN107153327B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 幡本淳
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍

1.一種用于光刻裝置的快門單元，所述快門單元在對來自光源的光的透射與光的遮擋之間進行切換，所述快門單元包括：

電機，其被構造為可旋轉地驅動軸；

附裝到所述軸的多個快門構件，所述多個快門構件包括遮光部并且被構造為通過使得遮光部被布置在光的光路上的方式而旋轉所述軸來遮擋光；以及

隔板，其以避開光通過的部分的方式被布置在所述多個快門構件之間的位置處，并且，所述隔板被構造為遮擋從所述多個快門構件當中的、布置在當從光源側觀看時的隔板的前方的快門構件泄漏的光。

2.根據權利要求1所述的快門單元，所述快門單元還包括：

第二隔板，其被布置在所述多個快門構件中的、當從光源側觀看時的最前段的快門構件的前面。

3.根據權利要求2所述的快門單元，所述快門單元還包括：

第三隔板，其被布置在所述多個快門構件中的、當從光源側觀看時的最后段的快門構件的后面。

4.根據權利要求1所述的快門單元，其中，所述多個快門構件中的、除了當從光源側觀看時的最前段的快門構件之外的快門構件，包括被構造為吸收入射光的吸光構件。

5.根據權利要求1所述的快門單元，其中，所述軸相對于光路傾斜地布置。

6.一種在基板上形成原版的圖案的光刻裝置，所述光刻裝置包括：

照明光學系統，其被構造為對原版進行照明，

所述照明光學系統包括快門單元，所述快門單元被構造為在對來自光源的光的透射與光的遮擋之間進行切換，

所述快門單元包括：

電機，其被構造為可旋轉地驅動軸；

附裝到所述軸的多個快門構件，所述多個快門構件包括遮光部并且被構造為通過使得遮光部被布置在光的光路上的方式而旋轉所述軸來遮擋光；以及

隔板，其以避開光通過的部分的方式被布置在所述多個快門構件之間的位置處，并且，所述隔板被構造為遮擋從所述多個快門構件當中的、布置在當從光源側觀看時的隔板的前方的快門構件泄漏的光。

7.一種物品的制造方法，包括以下步驟：

通過使用光刻裝置在基板上形成原版的圖案；以及

對通過形成步驟形成有圖案的基板進行處理，其中，所述物品由處理后的基板制造，

所述光刻裝置包括被構造為對原版進行照明的照明光學系統，

照明光學系統包括快門單元，所述快門單元被構造為在對來自光源的光的透射與光的遮擋之間進行切換，

所述快門單元包括：

電機，其被構造為可旋轉地驅動軸；

附裝到所述軸的多個快門構件，所述多個快門構件包括遮光部并且被構造為通過使得遮光部被布置在光的光路上的方式而旋轉所述軸來遮擋光；以及

隔板，其以避開光通過的部分的方式被布置在所述多個快門構件之間的位置處，并且，所述隔板被構造為遮擋從所述多個快門構件當中的、布置在當從光源側觀看時的隔板的前方的快門構件泄漏的光。

8.一種用于光刻裝置的快門單元，所述光刻裝置在基板上形成原版的圖案，所述快門單元包括：

遮擋板，其被構造為以避開來自光源的光通過的部分的方式被布置；以及

快門，其具有第一遮光部和第二遮光部彼此疊置的結構，

其中，在所述快門關閉的同時，所述遮擋板的一部分和所述光通過的部分位于所述第一遮光部與所述第二遮光部之間的位置。

9.根據權利要求8所述的快門單元，其中，從光入射側按順序布置所述第一遮光部、所述遮擋板以及所述第二遮光部，并且在所述快門關閉的狀態下泄露的光在所述第一遮光部與所述第二遮光部之間以及在所述第二遮光部與所述遮擋板之間反射。

10.根據權利要求8所述的快門單元，所述快門單元還包括：

電機，其具有旋轉軸，所述第一遮光部和所述第二遮光部固定到所述旋轉軸，其中，所述旋轉軸穿過所述遮擋板，并且所述遮擋板布置在所述第一遮光部與所述第二遮光部之間。