[發明專利]測定探頭

有效

• 申請號: 201710104608.2
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN107131861B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 古賀聰;齋藤章憲;金森宏之;栗山豊;石川修弘
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

提供一種構造簡易并且能夠確保高測定靈敏度的測定探頭。測定探頭具備：測針，其具有用于與被測定物接觸的接觸部；探頭外殼，其能夠將測針支承在軸心上；以及檢測元件，其能夠檢測接觸部的移動，該測定探頭具備配置于探頭外殼的軸向且容許測針的姿勢變化的兩個支承構件以及將兩個支承構件連結的連結軸，對兩個支承構件中的離旋轉中心位置最遠的支承構件配置檢測元件，利用檢測元件來檢測支承構件的應變量，其中，旋轉中心位置是在對接觸部從與軸向正交的方向施加測定力時測針所產生的旋轉的旋轉中心位置。

本申請引用2016年2月26日提交的日本專利申請第2016-36472號的包括說明書、附圖及權利要求書在內的全部公開內容。

技術領域

本發明涉及一種測定探頭，特別涉及一種構造簡易并且能夠確保高測定靈敏度的測定探頭。

背景技術

作為與被測定物的表面接觸來測定被測定物的表面的形狀的測定裝置，例如已知三維測定機等。在三維測定機中，使用用于與被測定物接觸來檢測該被測定物的表面形狀的測定探頭(日本特開平10-288502號公報，以下稱為專利文獻1)。專利文獻1所示的測定探頭具備：測針，其具有用于與被測定物(的表面)接觸的接觸部；以及檢測元件，其能夠檢測接觸部的移動。在專利文獻1中，檢測元件被固定在形成于測針的檢測元件支承部，基于檢測元件的應變而產生的輸出，來輸出觸及信號(接觸感知信號)，該檢測元件的應變是因檢測元件支承部的變形而產生的。即，在專利文獻1中，以簡易的構造實現測定探頭。

發明內容

發明要解決的問題

然而，在專利文獻1中存在以下擔憂：由于檢測元件支承部的剛度高，若測定力低則檢測元件支承部的變形量少，難以從檢測元件得到足夠的輸出。

本發明是為了解決所述問題而完成的，其課題在于提供一種構造簡易并且能夠確保高測定靈敏度的測定探頭。

用于解決問題的方案

本申請的第1發明是一種測定探頭，具備：測針，其具有用于與被測定物接觸的接觸部；探頭外殼，其能夠將該測針支承在軸心上；以及檢測元件，其能夠檢測該接觸部的移動，該測定探頭具備：多個支承構件，所述多個支承構件配置于所述探頭外殼的軸向，容許所述測針的姿勢變化；以及連結軸，其將該多個支承構件連結，對該多個支承構件中的離旋轉中心位置最遠的支承構件配置所述檢測元件，利用該檢測元件來檢測該支承構件的應變量，其中，該旋轉中心位置是在對所述接觸部從與所述軸向正交的方向施加測定力時所述測針所產生的旋轉的旋轉中心位置，由此解決了所述問題。

在本申請的第2發明中，所述測針被設為能夠與所述連結軸一體地相對于所述探頭外殼進行位移。

在本申請的第3發明中，所述測針被設為能夠與所述探頭外殼一體地相對于所述連結軸進行位移。

在本申請的第4發明中，所述軸向的剛度和與該軸向正交的方向的剛度被設為相同。

在本申請的第5發明中，離所述旋轉中心位置最遠的支承構件的剛度被設為低于其它支承構件的剛度。

在本申請的第6發明中，在與所述軸向正交的方向上被所述多個支承構件支承并且頂端與所述接觸部被設為一體的構件的剛度被設為高于離所述旋轉中心位置最遠的支承構件的剛度。

在本申請的第7發明中，所述多個支承構件中的離所述旋轉中心位置最遠的支承構件被配置為最接近所述接觸部。

在本申請的第8發明中，所述多個支承構件分別是具備三個以上能夠變形的臂部的旋轉對稱形狀，該三個以上的臂部形成在同一平面上。

在本申請的第9發明中，所述多個支承構件中的至少支承所述檢測元件的支承構件具備4的倍數個的所述臂部。