[發明專利]測定探頭

有效

• 申請號: 201710104606.3
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN107131853B
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 古賀聰;齋藤章憲;金森宏之;栗山豊;石川修弘
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B21/00
• 分類號: G01B21/00;G01B21/20
• 代理公司: 11277 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 劉新宇

1.一種測定探頭，具備：測針，其具有用于與被測定物接觸的接觸部；探頭外殼，其能夠將所述測針支承在軸心上；檢測元件，其能夠檢測該接觸部的移動；以及信號處理電路，其用于對該檢測元件的輸出進行處理，該測定探頭的特征在于，

在該探頭外殼的軸向上具備容許所述測針的姿勢變化的多個支承構件，各支承構件呈旋轉對稱形狀，

在該多個支承構件中的具備能夠變形的臂部的至少一個支承構件，四個所述檢測元件配置在四重對稱的位置，

所述信號處理電路具備：第一處理部，其對該檢測元件的輸出進行處理，輸出表示所述接觸部在彼此正交的三個方向的各方向上的位移分量的三個位移信號；第二處理部，其用于輸出將所述三個位移信號合成所得到的合成信號；以及比較部，其用于將該合成信號的信號電平與規定的基準值進行比較，

在該合成信號的信號電平為該規定的基準值以上時，所述信號處理電路輸出觸及信號，

所述第一處理部具備：第一加法部，其用于將從四個所述檢測元件輸出的四個輸出全部相加；以及減法部，其用于對繞所述軸心相位彼此相差90度的兩個所述檢測元件的輸出分別減去與對應檢測元件繞所述軸心相位相差180度的檢測元件的輸出，

所述第二處理部具備：平方部，其用于對所述三個位移信號分別進行平方；以及第二加法部，其用于將從所述平方部輸出的平方信號全部相加。

2.根據權利要求1所述的測定探頭，其特征在于，

所述第二處理部還具備平方根運算部，該平方根運算部用于運算所述第二加法部的輸出的平方根來輸出所述合成信號。

3.根據權利要求1所述的測定探頭，其特征在于，

所述第二處理部還具備乘法部，該乘法部用于對所述三個位移信號的信號電平乘以各自的規定系數。

4.根據權利要求3所述的測定探頭，其特征在于，

所述各自的規定系數是通過以下方式設定的：對從所述三個方向上的第一基準值達到大于該第一基準值的第二基準值時的所述接觸部的位移量的差異進行校準。

5.根據權利要求4所述的測定探頭，其特征在于，

準備多個所述測針，

按每個所述測針變更所述規定系數。

6.根據權利要求1所述的測定探頭，其特征在于，

所述信號處理電路在所述比較部的前級具備低通濾波器、高通濾波器或者帶通濾波器。

7.根據權利要求1所述的測定探頭，其特征在于，

在該接觸部從未被施加測定力的狀態的接觸部的基準位置起在任意方向上產生固定位移且在該任意方向上被施加固定的測定力時，所述信號處理電路輸出所述觸及信號。

8.根據權利要求1所述的測定探頭，其特征在于，

所述信號處理電路還在所述接觸部被施加向與所述軸向正交的方向的測定力時，按照所述測針的撓曲量對與所述軸向正交的位移量進行校正。