[發明專利]一種摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片及其制作方法

在審

• 申請號: 201710104226.X
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN108505041A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 周華
• 申請（專利權）人: 杭州吉岡工具有限公司
• 主分類號: C23C28/00
• 分類號: C23C28/00;C23C14/35;C23C14/06;C23C16/26;B23D61/02
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片，包括鋸片本體，其特征在于，鋸片本體由內向外依次涂覆有Ti/TiC過渡層和類金剛石膜，所述類金剛石膜內摻雜有Ti。

2.根據權利要求1所述的摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片，其特征在于，所述類金剛石膜厚度為1.5～3um。

3.根據權利要求1所述的摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片，其特征在于，所述類金剛石膜內中Ti含量為10～20％。

4.一種摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片的制作方法，其特征在于，步驟包括

(1)對鋸片本體進行清洗；

(2)對鋸片本體進行預熱；

(3)對鋸片本體外表面涂覆Ti/TiC過渡層；

(4)在Ti/TiC過渡層外側進一步涂覆類金剛石膜。

5.根據權利要求4所述的摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片的制作方法，其特征在于，所述步驟(1)中，將鋸片本體放在丙酮中超聲波清洗15～30min，去除表面油污，并烘干。

6.根據權利要求4所述的摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片的制作方法，其特征在于，所述步驟(2)中，將預處理好后的鋸片放入磁控濺射氣相沉積設備中的工件架上，抽真空達到1～3×10^-3pa，真空室溫度150℃后，通入氬氣，氬氣流量為50～100SCCM，當真空室氣壓達到2～5pa時，打開偏壓，偏壓-500～-1000V，設定偏空比60％，對鋸片表面進行氬等離子濺射清洗，持續時間20～40min。

7.根據權利要求4所述的摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片的制作方法，其特征在于，所述步驟(3)中，調節氣壓至5～8×10^-1pa，開啟磁控濺射氣相沉積設備上Ti靶和石墨靶的電源，沉積Ti/TiC過渡層。

8.根據權利要求7所述的摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片的制作方法，其特征在于，所述步驟(3)中，沉積TiC層時逐漸減小Ti靶的功率，同時逐漸增加石墨靶的功率，Ti靶電流30～50A，石墨靶功率1.5～3kw，沉積時間20～30min。

9.根據權利要求7所述的摻Ti類金剛石涂層的硬質合金圓鋸片的制作方法，其特征在于，所述步驟(4)中，在沉積過程中，本體真空為1～3×10^-3pa，放電氣壓0.5pa，氬氣和甲烷混合氣氛，偏壓-500～-1000v，Ti靶電流15～30A，石墨靶功率3～8Kw，沉積時間120～180min。