[發(fā)明專利]用于抑制橫模的表面聲波裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710103741.6
• 申請(qǐng)日: 2017-02-24
• 公開（公告）號(hào): CN107124153A
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金亞城;李哲和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津威盛電子有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02;H01L41/047
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所11323
• 代理人: 權(quán)鮮枝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及表面聲波裝置，尤其涉及通過抑制不必要的橫模，減少在通帶中出現(xiàn)的波紋，并改善插入損耗來消除雜散(spurious)的表面聲波裝置。

背景技術(shù)

表面聲波裝置將電能轉(zhuǎn)換為聲波能，或者將聲波能轉(zhuǎn)換為電能。例如，如圖1中所示的表面聲波裝置包括：壓電基板10、形成在基板10上彼此相對(duì)的母線21和22以及分別連接到母線21和22交替布置的交指型電極31和32。

表面聲波裝置的問題之一是不必要的橫模。橫模產(chǎn)生雜散響應(yīng)，引起不期望的波紋，或增加插入損耗。這種現(xiàn)象對(duì)表面聲波裝置的性能具有不良影響。

作為用于抑制表面聲波裝置中的橫模的方法之一，標(biāo)題為“Design Modeling and Visualization for Low Transverse Modes R-SPUDT devices”的文獻(xiàn)提供了所謂的活塞模式(piston mode)，其中在換能器的邊緣添加了波速減小區(qū)，以產(chǎn)生速度在開口處正常并且隨著朝向外部而減小的模式。然而，由于圖案復(fù)雜而難以實(shí)現(xiàn)該文獻(xiàn)中所公開的結(jié)構(gòu)，并且發(fā)生故障的概率高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種能夠通過較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)抑制橫模的表面聲波裝置。

本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種表面聲波裝置，包括：壓電基板、形成在壓電基板上的彼此相對(duì)的第一母線和第二母線、電連接到第一母線并且從第一母線向第二母線延伸的多個(gè)第一交指型電極以及電連接到第二母線并且從第二母線向第一母線延伸的多個(gè)第二交指型電極，其中第一交指型電極和第二交指型電極是交替布置的。這里，第一交指型電極和第二交指型電極的中心區(qū)、在該中心區(qū)和第一母線之間的第一邊緣區(qū)以及在該中心域和第二母線之間的第二邊緣區(qū)是根據(jù)波傳播方向界定的。此外，僅在第一邊緣區(qū)中的第一交指型電極和第二邊緣區(qū)中的第二交指型電極形成有突出部，以使第一邊緣區(qū)和第二邊緣區(qū)中的波速小于中心區(qū)中的波速。

突出部的寬度可以大于第一交指型電極和第二交指型電極的在中心區(qū)中的寬度。

突出部的厚度可以大于第一交指型電極和第二交指型電極的在中心區(qū)中的厚度。

突出部的寬度和厚度可以大于第一交指型電極和第二交指型電極的在中心區(qū)中的寬度和厚度。

本發(fā)明的另一方面提供一種表面聲波裝置，包括：壓電基板、形成在壓電基板上的彼此相對(duì)的第一母線和第二母線、電連接到第一母線并且從第一母線向第二母線延伸的多個(gè)第一交指型電極以及電連接到第二母線并且從第二母線向第一母線延伸的多個(gè)第二交指型電極，其中第一交指型電極和第二交指型電極是交替布置的。這里，第一交指型電極和第二交指型電極的中心區(qū)、在中心區(qū)和第一母線之間的第一邊緣區(qū)以及在中心區(qū)和第二母線之間的第二邊緣區(qū)是根據(jù)波傳播方向界定的。此外，僅在第一邊緣區(qū)中的第二交指型電極和第二邊緣區(qū)中的第一交指型電極形成突出部，以使第一邊緣區(qū)和第二邊緣區(qū)中的波速小于中心區(qū)中的波速。

突出部的寬度可以大于第一交指型電極和第二交指型電極的在中心區(qū)中的寬度。

突出部的厚度可以大于第一交指型電極和第二交指型電極的在中心區(qū)中的厚度。

突出部的寬度和厚度可以大于第一交指型電極和第二交指型電極的在中心區(qū)中的寬度和厚度。

附圖說明

通過參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例，本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將變得更加顯而易見，其中：

圖1示出一般表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的例子；

圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的視圖；

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的視圖；

圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的視圖；

圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的視圖；

圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的視圖；以及

圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的第六實(shí)施例的表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的視圖。

具體實(shí)施方式

下面將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。在下面的描述和附圖中，基本相同的部件將用相同的附圖標(biāo)記表示，并且將省略其重復(fù)描述。此外，在本發(fā)明的實(shí)施例的所有描述中，當(dāng)認(rèn)為對(duì)本領(lǐng)域公知的功能和部件的詳細(xì)說明可能會(huì)不必要地使本發(fā)明的本質(zhì)模糊時(shí)將被省略。

圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的表面聲波裝置的結(jié)構(gòu)的視圖。