[發明專利]包括升起的電連接墊的、用于檢測電磁輻射的裝置

有效

• 申請號: 201710102672.7
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN107121203B
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 史蒂芬·蒲卡思;阿涅斯·阿諾;塞巴斯蒂安·科蒂亞爾;讓-雅克·約恩
• 申請（專利權）人: 原子能和替代能源委員會;法國紅外探測器公司
• 主分類號: G01J5/20
• 分類號: G01J5/20;G01J5/02
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 謝攀;劉繼富

1.一種用于檢測電磁輻射的檢測裝置(1)，包括：

-位于襯底(2)中的讀出電路(10)；

-放置在所述襯底(2)上的電連接墊(30)，其包括在所述襯底(2)之上升起并電連接到所述讀出電路(10)的金屬部分(31)；

其中：

-保護壁(34)在升起的金屬部分(31)下方延伸，以便與其一起限定腔(3)的至少一部分，所述保護壁具有第一縱向尺寸和在平行于所述襯底(2)的平面中的第一厚度，所述第一縱向尺寸大于所述第一厚度；

-由允許形成金屬間介電層并且能夠通過化學侵蝕而被蝕刻的礦物材料制成的加強層部分(4)位于所述腔(3)中，升起的金屬部分(31)置于所述加強層部分上。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置(1)，其中所述加強層部分(4)具有大于或等于所述升起的金屬部分(31)的、被稱為下表面(33)的表面的表面范圍的25％的表面范圍，所述下表面朝向襯底(2)。

3.根據權利要求1或2所述的檢測裝置(1)，其中所述保護壁(34)連續延伸以限定封閉的腔(3)。

4.根據權利要求1或2所述的檢測裝置(1)，其中所述保護壁(34)連續延伸以限定局部打開的腔(3)。

5.根據權利要求1或2所述的檢測裝置(1)，包括放置在所述襯底(2)上并且通過所述讀出電路(10)電連接到所述電連接墊(30)的至少一個熱檢測器(20)，并且包括適于吸收待檢測電磁輻射的吸收膜(21)，所述吸收膜以距所述襯底(2)等于將所述升起的金屬部分(31)與所述襯底分離的距離的距離懸置在所述襯底(2)之上。

6.根據權利要求1或2所述的檢測裝置(1)，其中所述保護壁(34)由導電材料制成，所述保護壁將所述電連接墊(30)電連接到所述讀出電路(10)。

7.根據權利要求1或2所述的檢測裝置(1)，其中所述保護壁(34)環繞至少一個導電通孔(32)，所述至少一個導電通孔將所述升起的金屬部分(31)電連接到所述讀出電路(10)的金屬線的下面部分(11b)。

8.根據權利要求1或2所述的檢測裝置(1)，其中所述電連接墊(30)在所述腔(3)外部不包括加強層部分(4)。

9.根據權利要求1或2所述的檢測裝置(1)，其中所述保護壁(34)包括多個直線部段，每個部段具有第二縱向尺寸和在與所述襯底(2)平行的平面中的第二厚度，該第二縱向尺寸大于該第二厚度。

10.根據權利要求1所述的檢測裝置(1)，其中所述加強層部分(4)具有大于或等于所述升起的金屬部分(31)的、被稱為下表面(33)的表面的表面范圍的50％的表面范圍，所述下表面朝向襯底(2)。

11.根據權利要求1所述的檢測裝置(1)，其中所述加強層部分(4)具有大于或等于所述升起的金屬部分(31)的、被稱為下表面(33)的表面的表面范圍的75％的表面范圍，所述下表面朝向襯底(2)。

12.一種用于制造根據前述權利要求1至11中任一項所述的檢測裝置(1)的方法，包括：

-在覆蓋包含所述讀出電路(10)的襯底(2)的蝕刻阻擋層(5)上沉積犧牲層(7)；

-穿過所述犧牲層形成保護壁(34)，以便隨后限定腔(3)的至少一部分；

-在所述犧牲層(7)上形成升起的金屬部分(31)，使得其置于所述保護壁(34)上并參與所述腔(3)的限定；

-至少部分地蝕刻所述犧牲層(7)，在該蝕刻步驟之后，位于所述腔(3)中的所述犧牲層的稱為加強層部分的部分未被蝕刻。

13.根據權利要求12所述的方法，其中所述犧牲層(7)由礦物材料制成，并且其中所述蝕刻步驟通過在酸性介質中的化學侵蝕執行。