[發明專利]壓電振動片及壓電振動器

有效

• 申請號: 201710099544.1
• 申請日: 2017-02-23
• 公開（公告）號: CN107104652B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 市村直也
• 申請（專利權）人: 精工電子水晶科技股份有限公司
• 主分類號: H03H9/05
• 分類號: H03H9/05;H03H9/10;H03H9/13;H03H9/17
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 葉培勇;姜甜

1.一種壓電振動片，其特征在于，具備：

基部；

從所述基部并排延伸設置的一對振動臂部；

配置在所述振動臂部的外周面的第1激振電極；以及

配置在所述振動臂部的外周面的第2激振電極，

在所述振動臂部的對置的兩個主面形成的所述第1激振電極與所述第2激振電極的電極分割寬度W1為1μm＜W1＜3μm。

2.根據權利要求1所述的壓電振動片，其特征在于：

在所述振動臂部的所述兩個主面，沿著其長邊方向形成有槽部，

在將形成在所述振動臂部的側面和所述槽部的內側面的堤部的寬度設為W0的情況下，

在所述堤部形成在所述主面的所述第1激振電極與所述第2激振電極的電極分割寬度W1為W1＜W0。

3.根據權利要求2所述的壓電振動片，其特征在于：所述堤部的寬度W0形成為約3μm。

4.根據權利要求2或權利要求3所述的壓電振動片，其特征在于：至少在所述堤部的、形成在所述主面上的所述第1激振電極和所述第2激振電極被絕緣膜覆蓋。

5.根據權利要求1、權利要求2或權利要求3所述的壓電振動片，其特征在于：所述振動臂部各自以所述振動臂部的主面的寬度從所述振動臂部的前端側的中途向所述基部側逐漸變寬的方式，傾斜地形成所述振動臂部的兩側面。

6.根據權利要求5所述的壓電振動片，其特征在于：

在所述傾斜的兩側面之中與另一振動臂部對置的內側側面寬度逐漸變寬至所述基部，

在所述傾斜的兩側面之中位于外側的外側側面寬度逐漸變寬至到達所述基部的中途，從所述中途到所述基部為止形成為與所述基部的側面同一平面。

7.根據權利要求1所述的壓電振動片，其特征在于：具備在所述振動臂部的外側并排并從所述基部延伸設置的、安裝用的一對支撐臂部。

8.一種壓電振動器，其特征在于，具備：

包括安裝部的封裝件；以及

經由接合材料安裝在所述安裝部的、權利要求1所述的壓電振動片。