[發(fā)明專利]光調(diào)制器元件及其制造方法以及具備其的光調(diào)制模塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710097803.7
• 申請日: 2017-02-23
• 公開（公告）號: CN107121794B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 堀口裕一郎;西川智志;秋山浩一;林周作;外間洋平;榎健太郎;田中俊行
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035;G02F1/03
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 李今子

1.一種光調(diào)制器元件，具備：

第1、第2光調(diào)制器，形成在半導(dǎo)體基板上；

光輸入部，光被輸入到所述光輸入部；以及

分支耦合器，使輸入到所述光輸入部的光分別分支到所述第1、第2光調(diào)制器，

所述第1、第2光調(diào)制器分別具備：

一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路；

第1光耦合器，使來自所述分支耦合器的光分別分支到所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路；以及

第2光耦合器，合成分別通過所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路的光，

在所述第1、第2光調(diào)制器中，所述第1光調(diào)制器的所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路的光的行進方向與所述第2光調(diào)制器的所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路的光的行進方向被配置成相互帶有角度，

所述第1光調(diào)制器的所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路的光的行進方向與所述第2光調(diào)制器的所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路的光的行進方向相差180°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光調(diào)制器元件，其特征在于，還具備：

第1高頻電極，沿著所述第1光調(diào)制器的所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路配置；

第2高頻電極，沿著所述第2光調(diào)制器的所述一組馬赫-曾德爾型波導(dǎo)路配置；

第1高頻傳送路，與所述第1高頻電極連接；以及

第2高頻傳送路，與所述第2高頻電極連接，

所述第1、第2光調(diào)制器相對所述光輸入部對稱地配置，

所述第1、第2高頻電極相對所述光輸入部對稱地配置，

所述第1、第2高頻傳送路相對所述光輸入部對稱地配置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的光調(diào)制器元件，其特征在于，

所述光調(diào)制器元件具備在俯視時形成輪廓的邊，

所述光輸入部、所述第1光調(diào)制器的光輸出部、所述第2光調(diào)制器的光輸出部設(shè)置在相同的所述邊側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光調(diào)制器元件，其特征在于，

以極化復(fù)用正交相位調(diào)制方式進行光調(diào)制。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光調(diào)制器元件，其特征在于，

以極化復(fù)用正交相位調(diào)制方式進行光調(diào)制。

6.一種光調(diào)制模塊，具備：

權(quán)利要求2所述的光調(diào)制器元件；

多個信號輸入端，對應(yīng)于所述第1高頻傳送路；以及

多個信號輸入端，對應(yīng)于所述第2高頻傳送路，

所述光調(diào)制器元件具備在俯視時形成輪廓的邊，

與所述第1高頻傳送路對應(yīng)的所述多個信號輸入端以及與所述第2高頻傳送路對應(yīng)的所述多個信號輸入端設(shè)置在所述光調(diào)制器元件的第1邊側(cè)，

與所述第1高頻傳送路對應(yīng)的所述多個信號輸入端以及與所述第2高頻傳送路對應(yīng)的所述多個信號輸入端以等間隔配置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光調(diào)制模塊，其特征在于，還具備：

第1聚光透鏡，配置于所述光輸入部的前級；

第1準(zhǔn)直透鏡，配置于所述第1聚光透鏡的前級；

第2準(zhǔn)直透鏡，配置于所述第1光調(diào)制器所具備的所述第2光耦合器的后級；

第3準(zhǔn)直透鏡，配置于所述第2光調(diào)制器所具備的所述第2光耦合器的后級；

轉(zhuǎn)子，配置于所述第3準(zhǔn)直透鏡的后級，使光的偏振方向旋轉(zhuǎn)90°；

分光器，配置于所述轉(zhuǎn)子和所述第2準(zhǔn)直透鏡的后級，合成光；以及

第2聚光透鏡，配置于所述分光器的后級，

所述第1、第2聚光透鏡、第1、第2、第3準(zhǔn)直透鏡、所述轉(zhuǎn)子以及所述分光器配置在所述光調(diào)制器元件的與所述第1邊對置的第2邊側(cè)。