[發(fā)明專利]轉印模板及微發(fā)光二極管的轉印裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710094030.7
• 申請日: 2017-02-21
• 公開（公告）號: CN106903978B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發(fā)明（設計）人: 陳黎暄
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B41F16/00
• 分類號: B41F16/00
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產(chǎn)權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;顧楠楠

本發(fā)明提供了一種轉印模板，包括轉移襯底，所述轉移襯底的一側表面上均勻陣列有凸起，在凸起的表面上以及凸起之間的間隙內覆蓋有隨溫度變化改變膠體黏度的溫控膠。本發(fā)明還提供了一種微發(fā)光二極管的轉印裝置，包括機架，在機架上設有待轉移平臺以及與待轉移平臺相鄰的轉移平臺，在機架上方設有可從待轉移平臺移動至轉移平臺并且可上下移動的轉移機構，轉移機構上設有所述的轉印模板，所述凸起與待轉移平臺以及轉移平臺相對設置，在轉移機構上設有為轉印模板加熱的加熱裝置，轉印模板通過緊固件固定在加熱裝置的加熱面上，在轉移平臺內設有冷卻裝置。與現(xiàn)有技術相比，實現(xiàn)通過溫度調節(jié)進行微發(fā)光二極管的轉印，不僅結構簡單，而且轉印效率高。

技術領域

本發(fā)明涉及一種微發(fā)光二極管顯示技術領域，特別是一種微發(fā)光二極管的轉印裝置。

背景技術

平面顯示裝置因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優(yōu)點，而被廣泛的應用于手機、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

微發(fā)光二極管(Micro LED，μLED)顯示器是一種以在一個基板上集成的高密度微小尺寸的LED陣列作為顯示像素來實現(xiàn)圖像顯示的顯示器，同大尺寸的戶外LED顯示屏一樣，每一個像素可定址、單獨驅動點亮，可以看成是戶外LED顯示屏的縮小版，將像素點距離從毫米級降低至微米級，μLED顯示器和有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示器一樣屬于自發(fā)光顯示器，但μLED顯示器相比OLED顯示器還具有材料穩(wěn)定性更好、壽命更長、無影像烙印等優(yōu)點，被認為是OLED顯示器的最大競爭對手。

微轉印(Micro Transfer Printing)技術是目前制備μLED顯示裝置的主流方法，具體制備過程為：首先在藍寶石類基板生長出微發(fā)光二極管，然后通過激光剝離技術(Laser lift-off，LLO)將微發(fā)光二極管裸芯片(bare chip)從藍寶石類基板上分離開，隨后使用一個圖案化的聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)傳送頭將微發(fā)光二極管裸芯片從藍寶石類基板吸附起來，并將PDMS傳送頭與接收基板進行對位，隨后將PDMS傳送頭所吸附的微發(fā)光二極管裸芯片貼附到接收基板上預設的位置，再剝離PDMS傳送頭，即可完成將微發(fā)光二極管裸芯片轉移到接收基板上，進而制得μLED顯示裝置。

而目前的轉印一般采用通電吸附或PDMS的方式粘附進行轉印，當使用PDMS方式進行剝離時存在較難控制剝離效果；當使用通電吸附時則需要對每個吸附頭進行導通，不僅復雜而且剝離效果欠佳；目前還有一種通過溫度控制來進行微發(fā)光二極管轉印的技術，其原理是通過低溫剝離型膠水，其轉印的過程分為吸附-轉移-降溫最終完成轉印，上述的兩種轉印方式不僅結構復雜，而且效率低。

發(fā)明內容

為克服現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明提供一種轉印模板及微發(fā)光二極管的轉印裝置，不僅結構簡單而且轉印效率高。

本發(fā)明提供了一種轉印模板，包括轉移襯底，所述轉移襯底的一側表面上均勻陣列有凸起，在凸起的表面上以及凸起之間的間隙內覆蓋有隨溫度變化改變膠體黏度的溫控膠。

進一步地，所述凸起的形狀為矩形。

進一步地，所述凸起之間的間隙的距離相等。

本發(fā)明還提供了一種微發(fā)光二極管的轉印裝置，包括機架，在機架上設有待轉移平臺以及與待轉移平臺相鄰的轉移平臺，在機架上方設有可從待轉移平臺移動至轉移平臺并且可上下移動的轉移機構，轉移機構上設有所述的轉印模板，所述凸起與待轉移平臺以及轉移平臺相對設置，在轉移機構上設有為轉印模板加熱的加熱裝置，加熱裝置的加熱面朝下，轉印模板通過緊固件固定在加熱裝置的加熱面上，在轉移平臺內設有為轉印模板降溫的冷卻裝置，轉移平臺的冷卻面與加熱面相對，在機架上設有電源，電源分別為加熱裝置、冷卻裝置以及轉移機構供電。

進一步地，所述凸起的形狀為矩形。