[發明專利]用于拋光設備中的供液裝置有效
| 申請號： | 201710093550.6 | 申請日： | 2017-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN106956218B | 公開（公告）日： | 2019-09-03 |
| 發明（設計）人： | 趙慧佳;路新春;沈攀 | 申請（專利權）人： | 天津華海清科機電科技有限公司;清華大學 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黃德海 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 拋光 設備 中的 裝置 | ||
【說明書】：
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